{"id":14108,"date":"2023-04-20T08:39:51","date_gmt":"2023-04-20T00:39:51","guid":{"rendered":"https:\/\/printaker.com\/insphere-technology\/?p=14108"},"modified":"2026-04-10T12:33:02","modified_gmt":"2026-04-10T04:33:02","slug":"introduction-to-gem300-standards","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/introduction-to-gem300-standards\/","title":{"rendered":"Was ist GEM300? Ein Leitfaden f\u00fcr Anf\u00e4nger zu den SEMI 300-mm-Standards"},"content":{"rendered":"<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"14108\" class=\"elementor elementor-14108\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-30947f4 e-con-full e-flex qodef-elementor-content-no e-con e-parent\" data-id=\"30947f4\" data-element_type=\"container\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-2555b9c content-txt elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"2555b9c\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>GEM300 ist die Suite von\u00a0<a href=\"https:\/\/www.semi.org\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">SEMI\u00a0<\/a>Standards, die es erm\u00f6glichen, dass Halbleiter-Fabs mit 300 mm Materialtransport und Anlagensteuerung automatisieren. Auf SECS\/GEM (SEMI E5 SECS-II und SEMI E30 GEM) aufgebaut, f\u00fcgt GEM300 Unterst\u00fctzung f\u00fcr Tr\u00e4germanagement, Substratverfolgung, Steuerungsjobs und Verarbeitungjobs hinzu.<\/p><p>Diese Anleitung erkl\u00e4rt, was GEM300 ist, warum es notwendig wurde und wie die Kernstandards (SEMI E87, E90, E94, E40, E39) zusammenarbeiten, um eine vollautomatische 300-mm-Produktion zu erm\u00f6glichen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-d8aa834 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"d8aa834\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Warum 300-mm-Fabs GEM300 ben\u00f6tigen<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-bffc902 content-txt elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"bffc902\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Mit der Einf\u00fchrung gr\u00f6\u00dferer und schwererer 300-mm-Wafer und kleinerer Chip-Topologien wurde die manuelle Materialhandhabung unpraktisch und birgt das Risiko von Kontaminationen. Halbleiterfabriken erforderten die vollst\u00e4ndige Automatisierung der Materiallieferung mithilfe von OHT- (Overhead Hoist Transport) und AGV- (Automated Guided Vehicle) Systemen.<\/p><p>Um dieses Automatisierungsniveau zu unterst\u00fctzen, ben\u00f6tigten Fabriken eine standardisierte Kommunikation f\u00fcr:<\/p><ul><li>Carrier-\u00dcbergabe und Validierung (SEMI E87)<\/li><li>Substratverfolgung w\u00e4hrend der Verarbeitung (SEMI E90)<\/li><li>Prozessjobs und Steuerung des Jobmanagements (SEMI E40, E94)<\/li><li>Objektlebenszyklus-Dienste (SEMI E39)<\/li><\/ul><p>Diese Standards bilden zusammen GEM300 \u2013 die Grundlage der modernen Automatisierung von 300-mm-Wafer-Fabriken.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-a82697c elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"a82697c\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Was ist GEM300?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-ac6aa82 content-txt elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"ac6aa82\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>GEM300 ist eine Sammlung von SEMI-Standards, die kollektiv als \u201cSEMI 300-mm-Standards\u201d bekannt sind \u2013 einschlie\u00dflich SEMI E39, SEMI E40, SEMI E87, SEMI E90 und SEMI E94. Es bietet einen ausgekl\u00fcgelten, standardisierten Ansatz f\u00fcr Produktionsleitstellen, um Ger\u00e4te zu steuern und die Materialhandhabung zu automatisieren.<\/p><p>GEM300 basiert auf SECS\/GEM (SEMI E30 GEM und SEMI E5 SECS-II), wie unten dargestellt:<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e70e5be elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"e70e5be\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<a href=\"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/wp-content\/uploads\/2025\/11\/GEM300-SECS-or-GEM-Standards.jpg\" data-elementor-open-lightbox=\"yes\" data-elementor-lightbox-title=\"GEM300 SECS or GEM Standards\" data-e-action-hash=\"#elementor-action%3Aaction%3Dlightbox%26settings%3DeyJpZCI6MTQxMTEsInVybCI6Imh0dHBzOlwvXC93d3cuaW5zcGhlcmV0ZWNobm9sb2d5LmNvbVwvd3AtY29udGVudFwvdXBsb2Fkc1wvMjAyNVwvMTFcL0dFTTMwMC1TRUNTLW9yLUdFTS1TdGFuZGFyZHMuanBnIn0%3D\">\n\t\t\t\t\t\t\t<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"900\" height=\"435\" src=\"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/wp-content\/uploads\/2025\/11\/GEM300-SECS-or-GEM-Standards.jpg\" class=\"attachment-full size-full wp-image-14111\" alt=\"GEM300 standards stack - SEMI E87 E90 E94 E40 E39 built on SECS\/GEM\" srcset=\"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/wp-content\/uploads\/2025\/11\/GEM300-SECS-or-GEM-Standards.jpg 900w, https:\/\/www.inspheretechnology.com\/wp-content\/uploads\/2025\/11\/GEM300-SECS-or-GEM-Standards-300x145.jpg 300w, https:\/\/www.inspheretechnology.com\/wp-content\/uploads\/2025\/11\/GEM300-SECS-or-GEM-Standards-768x371.jpg 768w\" sizes=\"(max-width: 900px) 100vw, 900px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/a>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-b1589f3 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"b1589f3\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">GEM300 Normen<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-0d4ad9d content-txt content-table elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"0d4ad9d\" data-element_type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<table class=\"content-tbl\"><tbody><tr><td class=\"content-title\">SEMI-Norm<\/td><td class=\"content-title\">Beschreibung<\/td><td class=\"content-title\">Zweck<\/td><\/tr><tr><td>E87<\/td><td>Spezifikation f\u00fcr Carrier Management (CMS)<\/td><td>Verwaltet die Lieferung, die Handhabung und die Validierung des Materials. Ziel ist es, zu validieren, dass das erwartete Material an die Ausr\u00fcstung geliefert wurde<\/td><\/tr><tr><td>E90<\/td><td>Spezifikation f\u00fcr das Substrat-Tracking-Management<\/td><td>Definiert einen Standard f\u00fcr die R\u00fcckverfolgung von Substraten in der Fertigung in der gleichen Weise wie E87 f\u00fcr Carrier<\/td><\/tr><tr><td>E40<\/td><td>Spezifikation f\u00fcr das Verarbeitungsmanagement (PJM)<\/td><td>Die Proze\u00dfauftragsverwaltung befa\u00dft sich mit der Verarbeitung von Material durch eine Verarbeitungsressource. Sie hat die Aufgabe, sicherzustellen, dass das an das Prozessmodul gelieferte Material mit dem richtigen Rezept verarbeitet wird<\/td><\/tr><tr><td>E94<\/td><td>Spezifikation f\u00fcr Control Job Management (CJM)<\/td><td>Bietet eine \u00fcbergeordnete Kontrollebene f\u00fcr Prozessauftr\u00e4ge auf Materialverarbeitungsanlagen und erm\u00f6glicht Hosts die Verwaltung komplexer Verarbeitungsszenarien.<\/td><\/tr><tr><td>E39<\/td><td>Object Services Standard: Konzepte, Verhalten und Dienste<\/td><td>Legt fest, wie verschiedene Arten von Objekten w\u00e4hrend der Materialbearbeitung dynamisch erstellt und gel\u00f6scht werden. Legt die Interaktion von Objektattributen fest<\/td><\/tr><\/tbody><\/table>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Vor der Entwicklung der 300-mm-Wafer waren SEMI SECS-II E5 und GEM E30 die ersten Standards, die es den IC-Herstellern erm\u00f6glichten, mit den Wafer-Verarbeitungsanlagen zu kommunizieren und diese zu steuern.<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":14110,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"content-type":"","footnotes":""},"categories":[39],"tags":[],"class_list":["post-14108","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-insights-analysis"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/14108","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=14108"}],"version-history":[{"count":23,"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/14108\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":17003,"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/14108\/revisions\/17003"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/14110"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=14108"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=14108"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.inspheretechnology.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=14108"}],"curies":[{"name":"WordPress","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}