OEM-AUSRÜSTUNGSLÖSUNGEN

Fabriken akzeptieren heute keine Werkzeuge mehr, die nicht SECS/GEM- oder GEM300-konform sind. Die interne Entwicklung dieser Kommunikationstreiber für die Geräte ist jedoch nicht nur langsam, sondern auch kostspielig.

NxSphere® GEM und GEM300 sind leistungsstarke SECS/GEM-Host-Interface-Softwarelösungen und konforme Treiber, die eine schnelle, zuverlässige und vollständig standardisierte Tool-to-Host-Kommunikation ermöglichen. Entwickelt für die Automatisierung von Halbleiteranlagen, stellen sie OEMs sofort einsetzbare SECS/GEM-SDKs sowie Software für die Fabrikautomatisierung bereit, um fab-fähige Anlagen schneller auszuliefern und Entwicklungsteams auf Innovation zu fokussieren.

Unsere Produkte

NxSphere® GEM

Schneller, zuverlässiger und entwicklerfreundlicher SECS/GEM-Treiber

Überblick:

NxSphere® GEM ist eine robuste SECS/GEM-Treiber- und Host-Integrationssoftware für Gerätehersteller, die eine vollständig SEMI E30-, SEMI E37- und E5-konforme Kommunikation benötigen. Als entwicklerfreundliches SECS/GEM-SDK verkürzt es die Integrationszeit und gewährleistet nahtlose Interoperabilität zwischen Tools und Hosts in Halbleiterfabriken.

Höhepunkte:

Intelligente API für asynchrone SECS/GEM-Operationen.

Vollständige Unterstützung des GEM-Dienstes: Ereignisse, Alarme, Rezepte, Fernsteuerung, Datenerfassung, Spooling, Zustandsmodell und das neueste Großrezept (Stream 21).

Visual Model Builder für einfache Konfiguration und automatisch generierte Dokumentation. Eingebauter Simulator und SML LogViewer zur Validierung und Fehlersuche.

Empfohlen für:

Allgemeine Halbleitergeräte (200 mm und darunter).

Backend-Tools wie Die Bonder, Wire Bonder, AOI, Vision, Lasermarkierer, Prüfgeräte usw.

Die Grundlage für nahtlose, fabrikerprobte SECS/GEM-Host-Kommunikation - intelligent, skalierbar und einsatzbereit.

NxSphere® GEM300

Komplette 300-mm-Anlagenautomatisierung leicht gemacht

Überblick:

Aufbauend auf NxSphere® GEM, NxSphere® GEM300 ist ein umfassender GEM300-kompatibler Treiber, der die vollständige Konformität von 300-mm-Werkzeugen mit allen wichtigen SEMI-Standards (E87, E90, E94, E40, E116 und mehr) unterstützt. Er vereinfacht die Objektmodellierung, die Verwaltung von Prozessaufträgen und die Host-Koordination für die Automatisierung von Halbleiterwerkzeugen und bietet gleichzeitig eine schnelle Bereitstellung und hohe Wartungsfreundlichkeit.

Höhepunkte:

Alle Funktionen von NxSphere GEM.

Integrierter GEM300-kompatibler Treiber mit objektbasierter Modellierung.

Automatische Zustandsautomaten mit Persistenz und Wiederherstellung.

Model Builder für visuelle Konfiguration und sofortige Dokumentation.

Empfohlen für:

300-mm-Wafer-Bearbeitungswerkzeuge (Ätzen, Metrologie, CMP und mehr).

Werkzeuge mit automatisierten Handhabungssystemen (OHT, AGV).

Beschleunigen Sie die Qualifizierung Ihrer Fertigung mit einer vollständig integrierten, GEM300-konformen Automatisierungsplattform.

NxSphere GEMBridge

NxSphere® GEMBridge

Einheitliches Gateway zwischen SECS/GEM und PLC/OPC UA

Überblick:

NxSphere® GEMBridge fungiert als industrielle Protokollbrücke, die SPS-, SCADA- oder Modbus-Systeme mit SECS/GEM-Fabrikhosts verbindet. Es bietet eine schnelle, codefreie SPS-zu-SECS/GEM-Integration und verwandelt SPS-basierte oder hybride Maschinen in vollständig SECS/GEM-konforme Geräte, ohne dass die Steuerungslogik neu geschrieben werden muss.

Höhepunkte:

SPS-zu-SECS/GEM und Modbus-zu-SECS/GEM-Gateway.

Visuelles Tag-to-GEM Mapping (Statusvariablen, CEIDs, Alarme, Host-Befehle).

Admin Panel für Bereitstellung und Überwachung.

Erstellung von Dokumentation für SEMI-konforme Spezifikationen mit einem Klick.

Empfohlen für:

SPS-gesteuerte oder hybride Werkzeuge, die eine schnelle SECS/GEM-Befähigung durch OPC UA Mapping erfordern.

Ein codefreies, konfigurationsgesteuertes Factory Integration Gateway, das OPC UA und SECS/GEM mühelos miteinander verbindet.