Beschleunigen Sie Ihren Weg zur GEM300-Standardkonformität

NxSphere® GEM300 (früher bekannt als STHGEM300) ist ein GEM300 SDK, das OEMs dabei hilft, ihre 300-mm-Werkzeuge schneller vollständig SEMI-konform zu machen. Es unterstützt SEMI E87 (Carrier Management), SEMI E90 (Substrate Tracking), SEMI E94 (Control Job Management), SEMI E116 (Equipment Performance Tracking) und verwandte Standards.

Basierend auf NxSphere® GEM bietet es volle Unterstützung für GEM300-Standards und verarbeitet automatisch deren Zustandsmodelle, Handshakes und Abhängigkeiten - einschließlich der Basisstandards SEMI E39, E40, E37 und E5.

Mit seinem integrierten 300-mm-Objektmodell, Beispiel-Workflows und Persistenzunterstützung können sich Ingenieure auf die Werkzeugsteuerung konzentrieren, während GEM300 die Koordination von Trägern, Jobs und Substraten übernimmt und eine nahtlose Host-Interoperabilität gewährleistet.

NxSphere GEM300 architecture diagram SEMI E87 E90 E94 E116

Warum OEMs NxSphere wählen® GEM300

  • Volle GEM300 Standardunterstützung — E87, E40, E90, E94, E116 mit automatischen Zustandsautomaten, Handshakes und Datenpersistenz
  • SEMATECH & SELETE-konform — validierte Rundlaufmuster erfüllen SEMATECH- und SELETE-Betriebsanforderungen für 300-mm-Fabs
  • Auto GEM300 Referenzhandbuch — ein Klick zur Erstellung Ihrer vollständigen GEM300 Host-Integrationsdokumentation
  • Bewährt und vertrauenswürdig — auf dem soliden Fundament von NxSphere® GEM aufgebaut, das in allen 300-mm-Fabs weltweit akzeptiert wird

Alles, was Sie für GEM300 Konnektivitätsstandards brauchen

Ein komplettes GEM300 SDK mit automatischen Zustandsautomaten für SEMI E87, E90, E94 und E116 - visuelle Objektmodellierung, geprüfte Muster und Dokumentation mit einem Klick für die Einhaltung von 300-mm-Anlagen.

Umfassende Kernfunktionen

Erbt den vollen Funktionsumfang von NxSphere GEM – Ereignisse, Alarme, Rezepte, Fernbefehle, Protokollierung und Zustandsmodelle.

Intuitive Objektmodellierung

Visueller Modellierungs-Builder zur Orchestrierung komplexer GEM300 logischer Objekte – Ladeports, Substratpositionen, Verarbeitungsmodule und mehr.

Rationalisierte Standardintegration

Verwalten Sie komplexe Abhängigkeiten zwischen den Standards E87, E90, E94 und E116 direkt nach der Installation.

Automatisierte Zustandsmaschinen

Automatische Zustandsverwaltung und Datenpersistenz nach Neustart – keine manuelle Zustandsverfolgung erforderlich.

Automatisierte Dokumentation

Einfache GEM300 manuelle Generierung für vollständige Host-Integrationsspezifikationen.

Nahtloser Upgrade-Pfad

Aktualisieren Sie mühelos von NxSphere GEM SDK, um die vollen GEM300-Funktionen mit minimalen Codeänderungen zu aktivieren.

Round-Trip Beispielprogramm & Simulator

NxSphere® GEM300 beinhaltet eine Round-Trip-Beispielanwendung und den GEM300 Simulator, die zusammen den vollständigen 300-mm-Workflow demonstrieren – von der Waferaufnahme bis zur Chargenfertigstellung. Ein einziger API-Aufruf löst automatisch die vollständige Kaskade von Zustandsautomaten, variablen Daten und Ereignissen aus. Der Simulator bietet vorgefertigte Host-Nachrichten-Vorlagen, sodass Entwickler die Ankunft des Wafers, den Start des Jobs, die Substratverfolgung und die Chargenfertigstellung testen können, ohne eine Host-Anwendung erstellen zu müssen.

Erfahren Sie mehr über NxSphere® GEM300

Die SEMI GEM300-Standards sind leistungsfähig, aber sehr komplex und erfordern eine sorgfältige Koordination von Trägern, Substraten und Prozessaufträgen. NxSphere® GEM300 wurde entwickelt, um diese Reise mit klaren, auf Entwickler ausgerichteten Ressourcen zu vereinfachen. Unser Quick Start Guide führt Sie durch das Wesentliche, während der Schritt-für-Schritt-Workflow-Leitfaden zeigt, wie das komplette Roundtrip-GEM300-Szenario ausgeführt wird - genau wie von SELETE und SEMATECH definiert. Ein umfassender Leitfaden für Entwickler deckt jedes Detail ab, vom Materialeinzug bis hin zur Auftragssteuerung und Ausnahmebehandlung, unterstützt durch funktionierende Beispielanwendungen, die die Konzepte zum Leben erwecken.

Programmierschnittstelle

C#, VB.NET, Python, gRPC (in Kürze)

Multiplattform-Unterstützung

Microsoft Windows 32-Bit und 64-Bit

Linux 32-Bit und 64-Bit

Systemanforderungen

Windows Server 2019/2016/2012 R2; Windows 7/8/10/11; ≥1,3 GHz CPU; 1 GB RAM; 200 MB Festplatte; Ethernet

Ihr zuverlässiger weltweiter Partner für SECS/GEM-Integration

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    FAQ

    GEM300 ist ein Paket von SEMI Normen, die ursprünglich zur Unterstützung der vollständigen Automatisierung von 300-mm-Fabriken definiert wurden. Eine GEM300-Schnittstelle muss mindestens den Normen SEMI E5, E30, E37, E39, E40, E87, E90 und E94 entsprechen. NxSphere® GEM300 umfasst auch SEMI E116 (EPT), E148 und E157.

    SECS/GEM (SEMI E30) definiert die Kommunikation der Basisgeräte - Ereignisse, Alarme, Rezepte, Fernbefehle. GEM300 fügt 300mm-spezifische Standards hinzu: SEMI E87 für die Trägerverwaltung, SEMI E90 für die Substratverfolgung, SEMI E94 für die Verwaltung von Steuerungsaufträgen und SEMI E116 für die Verfolgung der Anlagenleistung.

    Ja. SEMI E142 (Substrate Mapping) wird auf der Basis NxSphere® GEM Ebene unterstützt, die NxSphere® GEM300 erbt.

    Ja. NxSphere® GEM300 bietet automatische Zustandsverwaltung für alle GEM300-Standards, einschließlich SEMI E87-Trägerzustände und SEMI E90-Substratzustände, mit Datenpersistenz nach einem Systemneustart.

    Ja. NxSphere® GEM300 umfasst einen GEM300-Simulator und vollständige Round-Trip-Beispielprogramme, die den betrieblichen Anforderungen von SEMATECH und SELETE entsprechen, so dass Sie GEM300-Flows offline validieren können.

    Ja. NxSphere® GEM300 bietet eine kostenlose 30-tägige Software-Evaluierung mit vollem Funktionsumfang, einschließlich Unterstützung für SEMI E87, E90, E94 und E116.