NxSphere® GEM300
OEMがSEMI E87、E90、E94、およびE116に準拠した300mm装置の自動化モジュールを構築するためのGEM300 SDK。.
GEM300規格準拠への道のりを加速させる
NxSphere® GEM300 (以前は〜として知られていた STHGEM300) は、OEM が 300mm ツールをより迅速に SEMI 準拠させるのに役立つ GEM300 SDK です。SEMI E87 (キャリア管理)、SEMI E90 (基板追跡)、SEMI E94 (制御ジョブ管理)、SEMI E116 (装置パフォーマンス追跡) および関連規格をサポートします。.
NxSphere® GEM を基盤とし、GEM300 標準への完全なサポートを追加し、SEMI E39、E40、E37、E5 の基本標準を含む、それらのステートモデル、ハンドシェーク、相互依存を自動的に処理します。.
組み込みの300mmオブジェクトモデル、サンプルワークフロー、および永続性サポートにより、エンジニアはツール制御に集中でき、GEM300がキャリア、ジョブ、および基板の連携を管理し、クリーンなホスト相互運用性を保証します。.
OEMがNxSphereを選択する理由® GEM300
- ✓GEM300 標準 を完全サポート — E87、E40、E90、E94、E116（ステートマシン、ハンドシェイク、データ永続化機能付き）
- ✓SEMATECH & SELETE 準拠 ― 検証済みの往復サンプルは、300mmファブのSEMATHECHおよびSELETEの運用要件を満たしています
- ✓自動 GEM300 リファレンスマニュアル GEM300ホスト統合ドキュメントのワンクリック生成
- ✓確かな実績と信頼 NxSphere® GEM の堅牢な基盤の上に構築され、世界中の300mmファブで採用されています。
GEM300 接続規格に必要なすべて
SEMI E87、E90、E94、E116用の自動ステートマシンを備えた完全なGEM300 SDK - 300mm装置準拠のためのビジュアル・オブジェクト・モデリング、検証済みサンプル、ワンクリック・ドキュメント。.
包括的なコア機能
NxSphere GEM の全機能（イベント、アラーム、レシピ、リモートコマンド、スプーリング、ステートモデル）を継承します。.
直感的なオブジェクト・モデリング
複雑なGEM300論理オブジェクト（ロードポート、基板位置、処理モジュールなど）をオーケストレーションするためのビジュアルモデルビルダー。.
合理化された規格統合
E87、E90、E94、E116規格間の複雑な相互依存関係を標準機能で管理します。.
自動ステートマシン
再起動後も自動でステートマシンを管理し、データを永続化します。手動での状態追跡は不要です。.
自動ドキュメンテーション
ホスト統合仕様書を一度のクリックで GEM300 手動生成します。.
シームレスなアップグレードパス
NxSphere GEM SDK から GEM300 の全機能を有効にするために、最小限のコード変更で簡単にアップグレードしてください。.
往復サンプルプログラム＆シミュレーター
NxSphere® GEM300 には、キャリアロードからロット完了までの完全な 300mm ワークフローを実証する、往復サンプルアプリケーションと GEM300 シミュレーターが含まれています。単一の API 呼び出しによって、ステートマシン、変数データ、およびイベントの完全なカスケードが自動的にトリガーされます。シミュレーターは、あらかじめ構築されたホストメッセージテンプレートを提供するため、開発者はホストアプリケーションを構築することなく、キャリアの到着、ジョブの開始、基板の追跡、およびロットの完了をテストできます。.
NxSphereについてもっと知る® GEM300
SEMI GEM300規格は強力ですが非常に複雑で、キャリア、基板、プロセスジョブの慎重な調整が必要です。NxSphere® GEM300は、開発者に焦点を当てた明確なリソースにより、この旅を簡素化するように設計されています。クイックスタートガイドでは、GEM300の基本的な使い方を説明し、ステップバイステップのワークフローガイドでは、SELETEとSEMATECHが定義した、完全なラウンドトリップGEM300シナリオの実行方法を説明します。包括的な開発者ガイドでは、材料搬入からジョブ制御、例外処理に至るまで、あらゆる詳細をカバーしています。.
プログラミング・インターフェース
C#、VB.NET、Python、gRPC（近日公開予定）
マルチプラットフォーム対応
Microsoft Windows 32ビットおよび64ビット
Linux 32ビットおよび64ビット
システム要件
Windows Server 2019/2016/2012 R2; Windows 7/8/10/11; ≥1.3 GHz CPU; 1 GB RAM; 200 MB ディスク; イーサネット
SECS/GEM統合のための信頼のワールドワイドパートナー
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よくある質問
GEM300とは何ですか。また、どのSEMI規格が含まれていますか。
GEM300 は、〜のスイートです セミ 300 mmファクトリーオートメーションを完全にサポートするために元々定義された標準。最低限、GEM300インターフェイスはSEMI E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、およびE94に準拠しなければなりません。NxSphere® GEM300にはSEMI E116（EPT）、E148、およびE157も含まれます。.
SECS/GEMとGEM300の違いは何ですか？
SECS/GEM（SEMI E30）は、イベント、アラーム、レシピ、リモートコマンドといった、ベースとなる装置通信を定義します。GEM300 では、キャリア管理のための SEMI E87、基板追跡のための SEMI E90、制御ジョブ管理のための SEMI E94、装置パフォーマンス追跡のための SEMI E116 といった、300mm 固有の規格が追加されます。.
NxSphere® GEM300はSEMI E142に対応していますか？
はい. SEMI E142（基板マッピング）は、NxSphere® GEM のベースレベルでサポートされており、NxSphere® GEM300 がこれを継承します。.
NxSphere® GEM300 は、SEMI E87 および E90 のステートマシンを自動的に処理しますか？
はい. NxSphere® GEM300 は、SEMI E87キャリアステートやSEMI E90基板ステートを含むすべての GEM300 標準について、システム再起動後もデータ永続性を保ちながら、自動ステートマシン管理を提供します。.
GEM300 ワークフローを実際のホストなしでテストできますか？
はい. NxSphere® GEM300には、SEMIATECHおよびSELETEの運用要件に準拠したシミュレーターと完全な往復サンプルプログラムが含まれており、GEM300フローをオフラインで検証できます。.
NxSphere® GEM300は無料評価可能ですか？
はい. .NxSphere® GEM300 では、SEMI E87、E90、E94、E116 を含む全機能をご利用いただける無料の 30 日間ソフトウェア評価版を提供しています。.