GEM300規格準拠への道のりを加速させる
NxSphere® GEM300 (以前は〜として知られていた STHGEM300) は、OEM が 300mm ツールをより迅速に SEMI 準拠させるのに役立つ GEM300 SDK です。SEMI E87 (キャリア管理)、SEMI E90 (基板追跡)、SEMI E94 (制御ジョブ管理)、SEMI E116 (装置パフォーマンス追跡) および関連規格をサポートします。.
NxSphere® GEMを基盤としており、GEM300規格を完全にサポートし、その状態モデル、ハンドシェイク、相互依存関係を自動的に処理します。SEMI E39、E40、E37、およびE5の基本規格を網羅しています。.
組み込みの300mmオブジェクトモデル、サンプルワークフロー、および永続性サポートにより、エンジニアはツール制御に集中でき、GEM300がキャリア、ジョブ、および基板の連携を管理し、クリーンなホスト相互運用性を保証します。.
OEMがNxSphereを選択する理由® GEM300
- ✓GEM300 標準 を完全サポートE87、E40、E90、E94、E116 を、ステートマシン、ハンドシェイク、データ永続化機能付きで。.
- ✓SEMATECH & SELETE 準拠検証済みの往復サンプルは、300mmファブのSELETEおよびSEMATECHの運用要件を満たしています。.
- ✓自動 GEM300 リファレンスマニュアル: ワンクリックで、GEM300ホスト統合に関する完全なドキュメントを生成できます。.
- ✓信頼できる実績: 世界中のすべての300mmファブで採用されているNxSphere® GEMの確固たる基盤の上に構築されています。.
統合された OEM SECS GEM ソリューション, NxSphere® GEM300は、機器メーカーがより迅速に認定を取得し、自信を持って製品を出荷するために必要なすべてを提供します。.
GEM300 接続規格に必要なすべて
SEMI E87、E90、E94、およびE116に対応した、自動ステートマシンを備えた完全なGEM300およびSDKソリューションです。これには、視覚的なオブジェクトモデリング、検証済みのサンプル、および300mm装置のコンプライアンス要件を満たすワンクリックでのドキュメント作成機能が含まれています。.
包括的なコア機能
イベント、アラーム、レシピ、リモートコマンド、スプール処理、状態モデルなど、NxSphere GEMの全機能セットを継承しています。.
直感的なオブジェクト・モデリング
ロードポート、基板配置、処理モジュールなど、複雑なGEM300論理オブジェクトを統合管理するためのビジュアルモデルビルダー。.
合理化された規格統合
E87、E90、E94、E116規格間の複雑な相互依存関係を標準機能で管理します。.
自動ステートマシン
自動状態管理と再起動後のデータ永続化。手動での状態追跡は不要です。.
自動ドキュメンテーション
ホスト統合仕様書を一度のクリックで GEM300 手動生成します。.
シームレスなアップグレードパス
NxSphere® GEM SDK から簡単にアップグレードし、コードの変更を最小限に抑えながら GEM300 の全機能を利用できるようになります。.
往復サンプルプログラムとシミュレータ
NxSphere® GEM300 には、ラウンドトリップのサンプルアプリケーションと GEM300 シミュレータが含まれており、これらを組み合わせることで、キャリアのロードからロットの完了に至るまでの 300mm ワークフロー全体を実証します。 1回のAPI呼び出しで、ステートマシン、可変データ、およびイベントの連鎖が自動的にトリガーされます。このシミュレータにはあらかじめ作成されたホストメッセージテンプレートが用意されているため、開発者はホストアプリケーションを構築することなく、キャリアの到着、ジョブの開始、基板の追跡、およびロットの完了をテストすることができます。.
SECS/GEM統合のための信頼のワールドワイドパートナー
NxSphereについてもっと知る® GEM300
SEMI GEM300規格は強力ですが、非常に複雑であり、キャリア、基板、およびプロセスジョブの綿密な調整が必要です。NxSphere® GEM300は、開発者を対象とした明確なリソースを提供することで、このプロセスを簡素化するよう設計されています。.
当社の「クイックスタートガイド」では基本事項を順を追って解説しており、また「ステップバイステップのワークフローガイド」では、SELETEおよびSEMATECHによって定義された通りの完全なラウンドトリップGEM300シナリオの実行方法を具体的に示しています。.
一方、包括的な開発者ガイドは、資材搬入からジョブおよび例外処理まで、あらゆる詳細を網羅しており、概念を具体化する動作中のサンプルアプリケーションによってサポートされています。.
プログラミング・インターフェース
C#、VB.NET、Python、gRPC（近日公開予定）
マルチプラットフォーム対応
Microsoft Windows 32ビットおよび64ビット
Linux 32ビットおよび64ビット
システム要件
Windows Server 2019/2016/2012 R2、Windows 7/8/10/11、1.3GHz以上のCPU、1GB RAM、200MB RAM、イーサネット
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GEM300とは何か、そしてなぜそれが300mm半導体製造において重要なのか
GEM300は、300mm半導体製造装置と工場自動化システムとの間の通信方法を規定するSEMI規格のセットです。この規格は、キャリア、基板、およびプロセスジョブを、製造装置、ホスト、およびマテリアルハンドリングシステム間で精密に連携させる必要がある、自動化された300mmファブのさらなる複雑性に対応するものです。.
GEM300が扱う内容と、それが現代の半導体製造においてなぜ重要なのかを以下に紹介します。.
キャリア管理 (SEMI E87)
自動搬送システムとの間で、機器がキャリアの状態、ロードポートのアクセスモード、およびマテリアルハンドオフをどのように管理するかを定義します。.
基板追跡（SEMI E90）
製造フロア全体でウェーハレベルの可視性を提供し、プロセスフロー全体で基板の場所とステータスを追跡します。.
ジョブ管理制御（SEMI E94）
機器間の多段階処理ジョブを連携させ、ロット管理をプロセスジョブ実行に結び付けます。.
処理ジョブ管理（SEMI E40）
装置レベルでの個々のプロセスジョブの作成、実行、完了を管理します。.
装置性能追跡（SEMI E116）
設備が利用率、可用性、パフォーマンス指標を工場ホストシステムに報告する方法を標準化します。.
すばらしい相互運用性
300mmファブでは、装置の認定にGEM300への準拠が求められます。これがない場合、その装置は自動生産環境に導入することができません。.
インダストリー4.0への準備
ファブが完全自動化に向けて進む中、GEM300への準拠は、装置をMES、AMHS、およびスマートファクトリー・プラットフォームに接続するための前提条件となっています。.
NxSphere® および GEM300 がサポートする主要な SEMI 規格
NxSphere® GEM300は、300mm装置のコンプライアンスに必要なSEMI規格を網羅しています。各規格は完全に実装・統合されており、状態モデルやそれらを結びつける相互依存関係を自動的に処理します。.
SEMI E5 (SECS-II)
装置とホスト間のSECS通信のメッセージ内容とデータ構造を定義します。.
SEMI E37 (HSMS)
TCP/IPベースのSECS-II通信のための高速メッセージサービスプロトコル.
SEMI E39（OSS）
機器オブジェクトがホストシステムによって識別および参照される方法を定義する、オブジェクトサービス標準。.
SEMI E40 (PJM)
処理ジョブ管理、装置レベルでの個々のプロセスジョブの実行とライフサイクルを管理します。.
Ｅ８７（ＣＭＳ）
キャリア管理標準 — 積み込みポート状態、キャリアID、自動搬送システムによるマテリアルハンドオフを定義.
SEMI E90 (STS)
基板トラッキング標準。製造フロア全体を、投入から完成までウェーハレベルで追跡します。.
SEMI E94（CJM）
設備およびプロセスジョブ間での複数ステップのロット処理を調整するジョブ管理を制御する。.
SEMI E116（EPT）
設備稼働状況の追跡 – 設備の稼働率、可用性、パフォーマンスデータの報告方法を標準化する.
OEM機器においてGEM300準拠のソフトウェアを使用するメリット
GEM300専用に設計されたソフトウェアを選択することで、OEMエンジニアリングチームの開発戦略は一変します。チームは、コンプライアンス対応を一から構築するのではなく、検証済みの基盤を導入し、自社製品を差別化するツールの機能開発に注力できるようになります。.
信頼できる SECS/GEMソフトウェア プラットフォーム「NxSphere® GEM300」により、OEM各社は、繰り返し修正を行うことなく、自社のツールがファブ認定を通過できるという確信を得ることができます。.
GEM300ソフトウェアの一般的な活用事例
NxSphere® GEM300は、幅広い種類の300mm半導体製造装置および統合シナリオに対応しています。代表的な用途としては、以下が挙げられます：
さらに、古い工具も管理している施設については、弊社の レガシー機器の自動化 これらのソリューションは、SECS/GEM以外の機器を同じファクトリーオートメーション環境に接続することで、GEM300の導入を補完します。.
スマートファクトリーと300mmファブ自動化のサポート
MES連携
AMHS連携
SEMI E87は、自動マテリアルハンドリングシステムとの直接通信を可能にし、手動介入なしでOHTおよびAGVシステムとのキャリアハンドオフを装置が調整できるようにします。.
リアルタイム可視性
SEMI E116を通じて報告される装置のパフォーマンスデータは、ファブ全体で予知保全、稼働率追跡、および運用分析をサポートします。.
自動マテリアルフロー
ロードポートの状態管理とキャリアハンドオフのワークフローは、輸送システムの要件に正確に一致し、スムーズで中断のないマテリアル移動を保証します。.
インダストリー4.0への準備
GEM300ソフトウェアは、300mmの工作機械に対し、スマートファクトリープラットフォームやクラウドベースの監視、データ駆動型製造イニシアチブに参加するために必要な通信基盤を提供します。.
よくある質問
GEM300とは何ですか。また、どのSEMI規格が含まれていますか。
GEM300 は、〜のスイートです セミ 300mmの完全な工場自動化をサポートするために策定された規格です。GEM300インターフェースは、少なくともSEMI E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、およびE94に準拠している必要があります。 NxSphere® GEM300には、SEMI E116（EPT）、E148、およびE157も含まれます。.
SECS/GEMとGEM300の違いは何ですか？
SECS/GEM（SEMI E30）は、イベント、アラーム、レシピ、およびリモートコマンドを網羅する、基本機器間の通信を規定しています。 GEM300では、キャリア管理に関するSEMI E87、基板追跡に関するSEMI E90、制御ジョブ管理に関するSEMI E94、および装置性能追跡に関するSEMI E116など、300mm専用規格が追加されています。.
NxSphere® GEM300はSEMI E142に対応していますか？
はい。. SEMI E142（基板マッピング）は、NxSphere® GEMレベルでサポートされており、NxSphere® GEM300はこの仕様を継承しています。.
NxSphere® および GEM300 は、SEMI E87 および E90 のステートマシンを自動的に処理しますか？
はい. NxSphere® GEM300 は、SEMI E87キャリアステートやSEMI E90基板ステートを含むすべての GEM300 標準について、システム再起動後もデータ永続性を保ちながら、自動ステートマシン管理を提供します。.
GEM300 ワークフローを実際のホストなしでテストできますか？
はい. NxSphere® GEM300には、SEMIATECHおよびSELETEの運用要件に準拠したシミュレーターと完全な往復サンプルプログラムが含まれており、GEM300フローをオフラインで検証できます。.
NxSphere® GEM300は無料評価可能ですか？
はい. .NxSphere® GEM300 では、SEMI E87、E90、E94、E116 を含む全機能をご利用いただける無料の 30 日間ソフトウェア評価版を提供しています。.
300mm半導体製造装置において、GEM300はなぜ重要なのでしょうか？
GEM300規格は、300mm製造装置が工場のホストシステム、自動材料搬送システム、およびMESプラットフォームとどのように通信するかを規定しています。GEM300に準拠していない場合、その装置は最先端の300mmファブでの認定を受けることも、完全自動化された生産ワークフローに参加することもできません。.
GEM300準拠のソフトウェアを使用するメリットは何ですか？
GEM300準拠のソフトウェアを使用することで、ステートマシンやドキュメントを一から構築する必要がなくなり、開発期間を大幅に短縮できます。また、ファクトリーホストとの相互運用性が検証済みであるため、ファブでの認定プロセスが簡素化され、OEM機器メーカーの市場投入までの時間を短縮できます。.
GEM300は、MESや工場のホストシステムと連携できますか？
はい。GEM300準拠のツールは、キャリア、基板、およびジョブに関するデータをMESや工場のホストシステムにリアルタイムで直接送信するため、ファブフロア全体にわたるエンドツーエンドの生産トレーサビリティ、自動スケジューリング、およびプロセス制御が可能になります。.
GEM300は、半導体工場の自動化をどのように向上させるのでしょうか？
GEM300は、装置が自動搬送システム、工場ホスト、MESプラットフォームと連携するための標準化された方法を提供します。これにより、キャリアの自動引き継ぎ、基板のリアルタイム追跡、およびパフォーマンスの監視が可能となり、300mm生産環境における手作業による介入を削減します。.