Proven on Production Equipment

NxSphere® GEM(旧称 SecsToHost.NET) is a fast, reliable SECS/GEM SDK trusted by equipment manufacturers worldwide to deliver SEMI-compliant production equipment to leading semiconductor fabs, with .NET support, intelligent APIs, and built-in protocol handling that minimize development effort.

15+

Years of SECS/GEM experience

10,000+

設備
Installations

80+

Customer
worldwide

13

Countries across Asia,
Europe and America

Trusted by Equipment Makers

Integrate into the Architecture You Already Use

Use .NET DLL for native integration or gRPC for C++, Python and other environments. Keep your equipment control architecture intact.

Equipment SECS/GEM communication architecture diagram

Build Your GEM Interface with Less Code

Use Model Builder to define your equipment model. The Intelligent API handles the complexity behind the scenes.

Validate Before Connecting to the Factory Host

Use the included SWIFT Host Simulator to thoroughly test your GEM interface in-house.

Generate the GEM Documentation Your Customer Needs

Automatically generate the Equipment GEM Interface Manual from your equipment model.

NxSphereについてもっと知る® GEM

ドキュメンテーションとサポート

NxSphere® GEMには、最初のSECS/GEMセッションの接続と実行を数分で支援するクイックスタートガイドと、SECS/GEMドメインの知識がほとんどない、または全くないユーザー向けに設計された包括的な開発者ガイドが含まれています。モデルビルダーから自動生成されるホスト通信仕様マニュアルと、すぐに使えるサンプルアプリケーションにより、開発者はSEMI標準に完全に準拠しながら、実践的に学ぶことができます。NxSphere® GEM は、セットアップ、トラブルシューティング、およびカスタマイズのための迅速なサポートと相まって、ゼロから迅速かつ自信を持って GEM レディになることができます。.

プログラミング・インターフェース

C#, VB.NET, Python, Visual C++, LabVIEW, gRPC (coming soon)

マルチプラットフォーム対応

Microsoft Windows 32ビットおよび64ビット

Linux 32ビットおよび64ビット

システム要件

Windows Server 2019/2016/2012 R2; Windows 7/8/10/11; ≥1.3 GHz CPU; 1 GB RAM; 200 MB ディスク; イーサネット

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    SECS/GEMとは何か、そしてなぜ半導体製造装置にとって重要なのか

    SECS/GEMとは何か、そしてなぜ半導体製造装置にとって重要なのか

    SECS/GEMは、半導体業界における装置とホスト間の通信のための標準プロトコルであり、現代のファブに製品を販売するOEMはすべて、これをサポートする必要があります。.

    SECS/GEMは、装置がファクトリーホストとメッセージをやり取りする方法を規定しており、接続管理やイベント報告から、アラーム通知やリモートコマンドの実行に至るまでを網羅しています。これらはすべて、SEMI規格E4、E5、E30、およびE37に基づいて規定されています。.

    ファブでは、数十社の異なるOEMが製造する装置が稼働していますが、SECS/GEMは、特注のポイント・ツー・ポイント統合を行うことなく、それらすべてを単一の工場自動化システムに接続できるようにする共通言語を提供します。.

    製造実行システムは、プロセスイベント、設備状態、データ変数レポートなどの構造化されたGEMデータに依存して、自動ロット処遇決定を行い、歩留まりを追跡し、リアルタイムでプロセス制御制限を強制します。.

    大半の半導体製造工場では、装置がGEM規格に完全に準拠していることを実証しない限り、量産用として認定することはありません。OEMメーカーにとって、SECS/GEMのサポートはオプション機能ではなく、商業上の必須要件です。.

    予知保全、自動プロセス制御、リアルタイム分析を追求する最先端のファブでは、すべての装置から継続的かつ標準化されたデータストリームが必要とされており、それらはすべてSECS/GEM通信層を経由して流れ込む。.

    SECS/GEM通信ソフトウェアの社内開発における課題

    信頼性の高い SECS/GEM 実装をゼロから構築することは、多大な工数を要する技術的課題であり、チームが本来担当すべき中核機器の開発からリソースを割くことになってしまいます。.

    SECS/GEMは、相互に依存する複数のSEMI規格にまたがっており、それぞれの規格には厳密なメッセージ構造、ステートマシンの要件、およびシーケンス規則が定められており、これらを正しく実装して初めて、単一のGEMサービスが機能するようになります。.

    SEMI規格は進化し続けるため、E30、E37、および関連仕様に準拠した社内実装を維持するには、継続的なエンジニアリングの注意が必要であり、製品のライフサイクル全体でその負担は増大します。.

    専用のツールがない場合、SECS/GEMセッションの障害診断には時間がかかります。エンジニアは生のSMLログを基に、複雑な状態遷移にわたってメッセージのシーケンスを手作業で追跡し、ホスト間の通信問題の根本原因を特定しなければなりません。.

    異なるファブでは異なるホストシステムが稼働しており、GEMの機能に対する期待値も様々です。そのため、あるホスト構成を基に構築した社内実装は、新しい顧客サイトで展開する際に、しばしば手直しが必要となります。.

    必要なすべてのGEMサービス、スプール処理、状態モデル、およびドキュメントを網羅した、完全かつ実運用レベルのSECS/GEM実装の開発と検証には数か月を要する場合があり、その結果、機器の出荷が遅れ、顧客による認定スケジュールも後ろ倒しになってしまう。.

    社内のSECS/GEMコードベースは、通常、プロトコルに関する深い専門知識を持つ少数のエンジニアによって維持管理されています。そうした人材が退職したり、他のプロジェクトに移ったりすると、知識の断絶が長期的なサポート上の深刻な課題となります。.

    OEM機器にSECS/GEMおよびSDKを採用するメリット

    専用に設計されたSECS/GEMおよびSDKは、機器開発における最も大きな技術的負担を取り除き、チームがプロトコルではなく機械そのものに集中できるようにします。.

    SECS/GEMドライバーソフトウェアの一般的な使用例

    NxSphere® GEMは、信頼性が高く、規格に準拠したホスト通信が必須要件となる、幅広い種類の機器や統合シナリオに導入されています。.

    スマートファクトリーとインダストリー4.0のコネクティビティをサポート

    スマートファクトリーとインダストリー4.0のコネクティビティをサポート

    SECS/GEMは、機器を可視化し、制御可能にし、データ利用可能な状態にするための基盤となる通信レイヤーであり、 スマートファクトリー自動化.

    NxSphere® GEMは、標準化されたGEMサービスを通じて、プロセスイベント、ステータス変数、アラーム状態などの構造化された設備データを公開し、MESプラットフォームに対し、ロット追跡、歩留まり管理、および自動プロセス制御に必要な信頼性の高いデータフィードを提供します。.

    イベント駆動型レポーティングと継続的なステータス変数更新により、ファクトリーホストは、リアルタイムで機器の状態とプロセス条件を監視し、プロセスの逸脱や予期しないダウンタイムへの迅速な対応をサポートします。.

    装置センサーおよびプロセス変数からの継続的なGEMデータ収集は、メンテナンスシステムに、障害が発生する前に劣化傾向を特定するために必要な履歴データとライブデータを提供します。.

    GEMを介して配信されるホスト起動のリモートコマンドにより、ファクトリーオートメーションシステムは、標準的な生産ワークフローから手動オペレーターのステップを削除することで、レシピ選択、プロセス開始、およびパラメーター更新を機器上で直接トリガーできます。.

    GEM準拠の装置は、ホストシステムがパラメータ変更をプッシュし、データ収集レポートを収集し、単一の制御プラットフォームからツールセット全体にプロセス制限を強制する、ファブ全体のプロセス制御イニシアチブに参加できます。.

    NxSphere® GEM を基盤として構築された装置は、SEMI 規格に準拠したあらゆる工場自動化インフラに接続可能であり、現在のスマートファクトリーの導入を支援するとともに、次世代ファブにおけるより高度なデータおよび制御要件にも対応します。.

    サポート産業

    NxSphere® GEMは、半導体グレードの機器間通信規格が求められるあらゆる業界のOEMやシステムインテグレーターに採用されています。.

    ウェハー加工、リソグラフィ、エッチング、成膜、検査、計測装置のメーカー各社は、世界中の最先端ファブの認定基準を満たすGEM準拠のホスト通信を実現するため、NxSphere® GEMを採用しています。.

    PCB製造、機能試験、および自動検査装置のメーカー各社は、NxSphere® GEMを活用して自社機器をFAシステムに接続し、最先端の電子機器生産施設におけるホスト通信要件を満たしています。.

    太陽電池およびモジュール製造装置のOEMメーカーは、PV2(PVECI)に対応したNxSphere® GEMを採用し、太陽光発電生産ラインにおけるホスト通信の標準化を実現することで、MESとの統合や自動プロセス制御を可能にしています。.

    実装、リフロー、自動光学検査システムなどの表面実装技術(SMT)装置には、NxSphere® GEMが組み込まれており、工場のホストシステムと連携して、ラインレベルの生産追跡および管理に参加します。.

    LED、レーザー、および光電子デバイスの製造に使用される装置には、NxSphere® GEMが組み込まれており、半導体グレードの基準に基づいて稼働する精密製造環境におけるホスト通信およびデータ収集の要件を満たしています。.

    SEMIに基づく自動化規格を採用している、従来の半導体ファブ以外の製造拠点では、NxSphere® GEMを活用して、自社の設備を規格に準拠した、ホスト接続型の生産ネットワークに組み込んでいます。.

    Empowering Smarter Factories Through Seamless Integration

    よくある質問

    SEMI Equipment Communications Standard / Generic Equipment Model によって定義された (SECS/GEM) セミ は、半導体製造装置とファクトリーホストシステム間の通信における業界標準プロトコルです。機械がステータス、イベント、アラーム、プロセスデータをファクトリーMESにどのように報告するかを定義します。 NxSphere® GEMは、SECS/GEM 標準のすべてを実装しています。.

    NxSphere® GEM は、SEMI 準拠のツールを構築する必要がある機器 OEM 向けに設計された SECS/GEM SDK および通信ライブラリです。 .NET ライブラリ、インテリジェント API、ビジュアル モデル ビルダー、および組み込みホスト シミュレータを提供します。.

    NxSphere® GEM は、SECS-II メッセージエンコーディング、GEM ステートモデル、HSMS (TCP/IP)、SECS-I (RS232) トランスポートを含む完全な SECS/GEM 通信プロトコルをサポートします。SEMI E4、E5、E30、E37、E39、E40規格に対応しています。.

    はい. .NxSphere® GEMには、ホストエンドポイントをエミュレートするSWIFTシミュレータが内蔵されており、工場でのライブ接続を必要とせずに、SECS/GEM通信を即座に検証することができます。.

    NxSphere® GEMには、包括的なサンプルプログラム、クイックスタートガイド、そして実践的な学習のためのSECS/GEMシミュレータが含まれています。ビジュアルなモデルビルダーは、SECS/GEMプロトコルコードを書くことなく、GEMサービスを設定することができます。30日間の無償評価版をご利用いただけます。.

    .NET SECS/GEM SDK は、機器開発者に、インテリジェントな API、あらかじめ構築された GEM サービス、およびサンプルプログラムを備えた、すぐに使える通信ライブラリを提供します。これにより、プロトコルをゼロから実装する必要がなくなり、開発期間とコンプライアンスリスクを大幅に削減できます。.

    SECS/GEM PLCゲートウェイ これは、PLCのタグデータを標準化されたSECS/GEMメッセージに変換するミドルウェア層であり、これにより、PLCで制御される装置は、基盤となる機械制御プログラムを変更することなく、半導体工場のホストと通信できるようになります。.

    はい。. SECS/GEMは、設備と工場のホストシステム間の標準的な通信レイヤーであり、NxSphere® GEMは、ロット追跡、歩留まり管理、および自動プロセス制御のためにMESプラットフォームが必要とする、構造化されたイベントレポート、ステータス変数、およびアラームデータを提供します。.

    SECS/GEM ファクトリーインテグレーションソフトウェア 工場ホストがリアルタイムで機器の状態を監視し、プロセスデータを収集し、リモートコマンドを送信し、自動ワークフローをトリガーすることを可能にし、あらゆる半導体工場自動化システムの通信バックボーンを形成します。.

    機器メーカー向け SECS/GEM 半導体製造で主に使われていますが、エレクトロニクス、太陽光発電、SMT、オプトエレクトロニクス、その他の精密製造業でも広く採用されており、標準化された機器とホスト間の通信が必要とされています。.