OEM機器メーカー向けSECS/GEMソリューション

より少ないコードで、より迅速な立ち上げ
ローコード開発により、市場投入までの時間を短縮します。

OEM向けSECS/GEMソリューションによる半導体製造装置の統合を加速

半導体製造装置メーカーにとって、装置をファブ内に導入するには、年々長くなるチェックリストをクリアする必要があります。SEMI準拠、GEM300への対応、MESとの連携、スマートファクトリーとの互換性は、今やほとんどのファブにおいて基本的な要件となっており、これらすべてを自社内で構築するには時間がかかり、多大なリソースを要します。.

InsphereのOEM機器ソリューションは、より迅速かつ信頼性の高い道筋を提供します。実運用で実績のあるSECS/GEMおよびSDK、ならびにローコード開発フレームワークを基盤として構築された当社のソフトウェアは、統合期間を短縮し、コンプライアンス関連文書の作成を自動化することで、エンジニアリングチームが「通信方法」ではなく「開発内容」に集中できるようにします。.

新製品開発からレガシーシステムのアップグレードまで、当社のソリューションはロードマップに合わせて拡張します。.

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製品紹介

NxSphere® GEM Icon

NxSphere® GEM

高速で信頼性が高く、開発者に優しいSECS/GEMドライバ

概要

NxSphere® GEM 本製品は、SEMI E30、SEMI E37、およびE5規格に完全に準拠した通信を必要とする機器メーカー向けの、堅牢なSECS/GEMドライバおよびホスト統合ソフトウェアです。開発者に優しいSECS/GEMおよびSDKとして構築されており、統合期間を短縮するとともに、半導体ファブにおけるツールとホスト間のシームレスな相互運用性を確保します。.

ハイライト

非同期SECS/GEM操作のためのインテリジェントAPI。.

GEMサービスのフルサポート：イベント、アラーム、レシピ、リモートコマンド、データ収集、スプーリング、ステートモデル、最新のラージレシピ（ストリーム21）。.

簡単な設定と自動生成されたドキュメントのためのビジュアル・モデル・ビルダー検証やデバッグのための内蔵シミュレータとSML LogViewer.

こんな人におすすめ

一般半導体装置（200mm以下）。.

バックエンドツール（ダイボンダー、ワイヤボンダー、AOI、ビジョン、レーザーマーカー、テスターなど）.

シームレスで、ファブ実証済みのSECS/GEMホスト通信の基盤。スマートでスケーラブル、すぐに導入可能です。.
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NxSphere® GEM300 Icon

NxSphere® GEM300

完全な300mm装置の自動化をシンプルに
概要 で構築NxSphere® GEM、NxSphere® GEM300 これは、GEM300に準拠した包括的なドライバであり、300mmツールへの完全な対応に加え、すべての主要なSEMI規格（E87、E90、E94、E40、E116など）をサポートしています。 半導体装置の自動化において、オブジェクトのモデリング、プロセスジョブの管理、ホストとの連携を簡素化すると同時に、迅速な導入と高い保守性を実現します。.

ハイライト

NxSphere GEM のすべての機能。.

オブジェクトベースモデリングによるGEM300準拠の統合ドライバ。.

永続性と回復を備えた自動ステートマシン。.

視覚的な設定と即時の文書化のためのモデルビルダー。.

こんな人におすすめ

300mmウェーハプロセスツール（エッチング、メトロロジー、CMPなど）。.

自動ハンドリングシステム（OHT、AGV）を備えた工具。.

完全に統合されたGEM300準拠の自動化プラットフォームにより、ファブの認定を加速します。.
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NxSphere GEMBridge

NxSphere® GEMBridge

SECS/GEMとPLC/OPC UA間の統合ゲートウェイ

概要

NxSphere® GEMBridgeは、産業用プロトコルブリッジとして機能し、PLC、SCADA、またはModbusシステムをSECS/GEMの工場用ホストに接続します。これにより、コードを記述することなくPLCとSECS/GEMを迅速に統合でき、制御ロジックを書き換えることなく、PLCベースまたはハイブリッド型の機械をSECS/GEMに完全に準拠した機器に変えることができます。.

ハイライト

PLC-SECS/GEMおよびModbus-SECS/GEMゲートウェイ。.

タグからGEMへの視覚的なマッピング（ステータスバー、CEID、アラーム、ホストコマンド）。.

デプロイとモニタリングのための管理パネル。.

SEMI規格に準拠したドキュメントをワンクリックで作成。.

こんな人におすすめ

OPC UAマッピングによる迅速なSECS/GEMイネーブルメントを必要とするPLC駆動またはハイブリッドツール。.

OPC UAとSECS/GEMを最小限の手間で接続する、ノーコードかつ設定主導型の工場統合ゲートウェイ。.
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お問い合わせ

    OEM機器メーカーがSECS/GEM準拠を必要とする理由

    OEM機器メーカーがSECS/GEM準拠を必要とする理由

    半導体工場は標準化された通信で稼働しており、SEMIの要件を満たさない機器は単純に資格を得られません。いくつかの要因が複合的に作用し、コンプライアンスへのプレッシャーが高まっています。.

    大半のファブ顧客は、装置の認定条件として、SECS/GEM規格への完全な準拠を求めています。工場のホストシステムと通信できない装置は、評価段階を通過することはできません。.
    SEMI E30、E37、E87、E94などの規格は、ツールがステータスを報告する方法、アラームの処理方法、レシピの管理方法、ホストシステムと連携する方法を定義しています。適用されるすべての規格に完全に準拠することが期待されます。.
    最先端の300mmファブでは、GEM300への準拠が求められ、これには、基本のGEMが提供する機能を超える、キャリア管理、基板追跡、およびプロセスジョブの調整が含まれます。.
    工場のホストシステムやMESシステムは、SECS/GEMを活用して、設備データをリアルタイムで収集し、レシピの配信を自動化し、生産ワークフローをエンドツーエンドで管理しています。.

    ファブがスマート製造を採用するにつれて、競争力を維持するためには、装置がリアルタイムのデータストリーミング、分析統合、自動化されたワークフローをサポートする必要があります。.

    半導体製造装置におけるOEMが直面する通信上の課題

    SECS/GEMを一から構築することは、機器開発において依然として最も過小評価されがちな作業の一つです。プロジェクトの初期段階では対応可能に見えるものでも、コンプライアンス要件やホストとの互換性に関する要求が積み重なるにつれて、その規模が大幅に拡大する傾向があります。.

    ゼロからプロトコルドライバを作成するには数ヶ月かかり、エンジニアリングリソースをコア製品の作業から引き離すことになります。.

    SEMI規格をすべて正確に満たし、ファブ認定に必要なドキュメントを作成することは、専用ツールなしでは時間がかかります。.

    異なるファブは異なるMESおよびEAP構成を実行しており、OEMに継続的な互換性作業を強いることになります。.

    専用のSDKがなければ、各チームは、本来なら自動化できるはずのデバッグ、テスト、およびドキュメント作成に多大な時間を費やすことになる。.

    インダストリー4.0とスマートファクトリー自動化のサポート

    基本的な接続性だけでなく、今日のファブは、工場全体のインテリジェンスに積極的に参加する機器を期待しています。OEM通信ソフトウェアは、それを可能にする上で中心的な役割を果たします。.
    設備データはMES、SPC、RMSプラットフォームに直接流れ込み、自動スケジューリング、ロット追跡、プロセス制御を可能にします。.
    継続的なステータス更新、アラーム、イベントデータにより、オペレーターとエンジニアは生産フロア全体を即座に把握できます。.
    装置の性能データは、予期せぬダウンタイムが発生する前に、早期の故障検出と計画的なメンテナンスをサポートします。.
    リモートコントロール、イベント駆動型応答、レシピ自動化により、製造のあらゆる段階での手動介入が削減されます。.
    私たちの SECS/GEMソフトウェア 分析プラットフォーム、クラウドダッシュボード、SPCシステムと統合し、進化する広範なインダストリー4.0イニシアチブをサポートします。.
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    OEM SECS/GEM ソフトウェアソリューションを利用するメリット

    専用に設計されたSECS/GEMソフトウェアを採用することで、機器開発の経済性が一変します。OEM各社は、通信規格への準拠を繰り返し発生するプロジェクト上の負担として扱うのではなく、製品ライン全体に展開可能な、再現性が高く拡張性のある基盤を手に入れることができます。.

    より迅速なファブ資格認定

    事前に検証済みでSEMI規格に準拠したSDKは、ファブ承認に必要な試験および文書作成の負担を軽減します。.

    開発工数の削減

    ローコードツールと既製のプロトコルドライバにより、カスタム開発に数ヶ月かかっていたものが数日に短縮されます。.

    相互運用性の向上

    標準化されたコミュニケーションにより、ツールのパフォーマンスは、異なるファブ環境やホスト構成で一貫したものになります。.

    コンプライアンスの簡素化

    自動生成されるGEMマニュアルとビジュアルモデルビルダーは、手作業なしでドキュメントを最新の状態に保ちます。.

    スケーラブルな統合

    ソリューションは、アーキテクチャの変更なしに、単一ツールのパイロットから全工場展開まで、あらゆるものをサポートします。.

    市場投入までの時間短縮

    コミュニケーションインフラに費やす時間を削減することで、製品機能や差別化のためのエンジニアリング能力を向上させることができます。.

    サポート産業

    半導体製造が当社の中心事業ですが、同様の機器通信の課題は、広範なハイテク産業に共通して存在します。

    半導体製造 (OEMツールとファブ統合)

    太陽光発電と太陽光パネル製造

    電子機器製造

    SMT生産ライン

    オプトエレクトロニクス

    産業オートメーション

    機器が大規模な工場システムと確実に通信する必要があるあらゆる場所で、当社のソリューションは、同じ標準ベースの接続性とローコード展開アプローチをもたらします。さらに、古いツールを管理する施設では、当社の レガシー機器の自動化 ハードウェアやソフトウェアの変更を必要とせずに、その接続性を拡張するソリューション。.

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    Empowering Smarter Factories Through Seamless Integration

    OEM機器通信ソリューションの一般的なユースケース

    OEM機器通信ソフトウェアは、新設ツールの導入からレガシーシステムのアップグレードまで、幅広い統合シナリオをサポートします。最も一般的なアプリケーションを以下に示します。

    既存のSECS/GEMホストシステムを備えたファブ環境への新しい半導体ツールの統合

    製品開発段階におけるOEM機器のSECS/GEM準拠の実現

    レガシーなツールのSEMI最新通信規格へのアップグレード

    OPC UAを介してPLC駆動またはModbus制御の機械をファクトリーホストに接続する

    自動レシピ管理、アラーム監視、リモート制御ワークフローのサポート

    FAB認定および顧客承認のためのGEMドキュメント生成の加速

    インスフィア・テクノロジーを選ぶ理由：OEM機器ソリューション

    半導体通信における深い経験と、主要なファブやOEMにまたがるグローバルな導入実績を持つInsphereは、汎用的な統合ツールでは決して得られないレベルのドメインエキスパートを提供します。当社の特徴は以下の通りです。

    実証された経験

    半導体通信分野で15年以上の経験を持ち、世界中のファブおよびOEMで13,000件以上の導入実績があります。.

    OEM向けに構築

    当社のSDKは、機器メーカー向けに特別に設計されており、ローコード開発によりエンジニアリングの立ち上げ期間を大幅に短縮します。.

    SEMI規格を完全に網羅

    基本モデルのGEMからGEM300に至るまで、当社の製品はSEMIの通信要件を網羅しています。.

    最小限のトレーニングで済みます

    直感的なツールとわかりやすいドキュメントのおかげで、チームはプロトコルに関する深い専門知識がなくてもSECS/GEMを導入することができます。.

    長期的な互換性

    定期的なアップデートとスケーラブルなアーキテクチャにより、当社のソリューションは進化するファブの要件とSEMI規格に準拠し続けます。.

    専用OEMサポート

    初期実装から本番環境への完全な展開まで、統合ライフサイクル全体にわたるテクニカルサポート。.

    当社のOEM機器ソリューションに関するよくある質問

    SECS/GEMは、半導体装置が工場のホストシステムとデータをやり取りする方法を規定したSEMI通信規格のセットです。この規格は、装置の状態報告、アラーム処理、レシピ管理、およびリモートコマンドを規定しており、ほとんどの半導体ファブにおける装置の適格性評価に必須となっています。.
    SECS/GEMは、設備と工場ホスト間の共通通信規格を確立し、一貫したデータ収集、レシピの自動配信、およびリアルタイムのイベント報告を可能にします。これにより、手作業による介入が削減され、生産現場全体にわたる拡張可能な自動化のための信頼性の高い基盤が構築されます。.
    SECS/GEM SDK は、SEMI 規格に準拠した既製のプロトコルドライバを提供します。これにより、通信ソフトウェアを一から開発する必要がなくなり、開発期間の短縮、エンジニアリング工数の削減、そして開発の初期段階から規格準拠の正確性を確保できます。.
    NxSphere® GEMのような専用設計のSDKを使用すれば、ほとんどの実装は数日から数週間で完了します。ローコードツール、組み込みシミュレータ、および自動生成されるドキュメントにより、開発および検証の時間が大幅に短縮されます。.
    はい。SECS/GEMソフトウェアは、MES、SPC、RMSなどの設備や工場システムを連携させ、リアルタイムの設備データを転送することで、生産追跡、プロセス制御、品質管理のワークフローを支援します。.
    はい。NxSphere® GEMBridgeは、既存の制御ロジックを変更したり、カスタムプロトコルコードを記述したりすることなく、OPC UAマッピングを介してPLCやModbusコントローラをSECS/GEMの工場ホストに接続します。.
    ほとんどの半導体ファブでは、生産用機器の承認に際し、SECS/GEM規格への完全な準拠が求められます。この準拠により、装置がファブのホストシステムと確実に連携できるようになり、認定プロセスにおけるファブ顧客の導入負担を軽減します。.
    GEM（SEMI E30）は、半導体製造装置に求められる基本機器の通信動作を規定しています。GEM300は、これを300mm環境向けに拡張し、キャリア管理（E87）、基板追跡（E90）、およびジョブ管理（E40、E94）のための高度なオブジェクトモデルを追加しています。.

    はい。NxSphere® GEMBridge や NxSphere® DEX といったソリューションは、OPC UA マッピングや、既存のビデオ出力インターフェースを介した非侵襲的なデータ収集を活用することで、ハードウェアの改造を行うことなく、旧式の機器を SECS/GEM ファクトリーホストに接続します。.

    主な用途は半導体製造ですが、OEM機器通信ソフトウェアは、標準化された機械とホスト間の通信が必要なあらゆる場所（太陽光発電、エレクトロニクス、SMT生産、オプトエレクトロニクス、産業オートメーションなど）でも使用されています。.