SECS/GEM-Lösungen für OEM-Gerätehersteller

Weniger Code, schnellerer Start
Low-Code-Entwicklung, kürzere Markteinführungszeiten.

Beschleunigung der Integration von Halbleiterausrüstung mit SECS/GEM-Lösungen von OEMs

Für Hersteller von Halbleiterausrüstung bedeutet die Inbetriebnahme von Anlagen in der Fertigungshalle, eine Checkliste abzuarbeiten, die von Jahr zu Jahr länger wird. SEMI-Konformität, GEM300-Bereitschaft, MES-Anbindung und Kompatibilität mit Smart-Factory-Konzepten sind mittlerweile in den meisten Fertigungsstätten Grundvoraussetzungen, und die interne Entwicklung aller dieser Funktionen ist zeitaufwendig und ressourcenintensiv.

Die OEM-Hardwarelösungen von Insphere bieten einen schnelleren und zuverlässigeren Weg. Unsere Software basiert auf produktionserprobten SECS/GEM- und SDK-Lösungen sowie Low-Code-Entwicklungsframeworks und verkürzt die Integrationszeiten, automatisiert die Erstellung von Compliance-Dokumentationen und ermöglicht es den Entwicklungsteams, sich auf das zu konzentrieren, was sie entwickeln, anstatt darauf, wie die Kommunikation funktioniert.

Von der Neuentwicklung von Produkten bis hin zu Upgrades bestehender Systeme – unsere Lösungen skalieren mit Ihrer Roadmap.

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Unsere Produkte

NxSphere® GEM Icon

NxSphere® GEM

Schneller, zuverlässiger und entwicklerfreundlicher SECS/GEM-Treiber

Überblick:

NxSphere® GEM ist eine robuste SECS/GEM-Treiber- und Host-Integrationssoftware für Gerätehersteller, die eine vollständig SEMI E30-, SEMI E37- und E5-konforme Kommunikation benötigen. Als entwicklerfreundliche SECS/GEM- und SDK-Lösung konzipiert, verkürzt sie die Integrationszeit und gewährleistet eine nahtlose Interoperabilität zwischen Werkzeugen und Hosts in Halbleiterfabriken.

Höhepunkte:

Intelligente API für asynchrone SECS/GEM-Operationen.

Vollständige Unterstützung des GEM-Dienstes: Ereignisse, Alarme, Rezepte, Fernsteuerung, Datenerfassung, Spooling, Zustandsmodell und das neueste Großrezept (Stream 21).

Visual Model Builder für einfache Konfiguration und automatisch generierte Dokumentation. Eingebauter Simulator und SML LogViewer zur Validierung und Fehlersuche.

Empfohlen für:

Allgemeine Halbleitergeräte (200 mm und darunter).

Backend-Werkzeuge, wie Die Bonders, Drahtbondautomaten, AOI, Vision, Lasermarkierer und Tester.

Die Grundlage für nahtlose, in der Fertigung bewährte SECS/GEM-Host-Kommunikation. Intelligent, skalierbar und einsatzbereit.
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NxSphere® GEM300 Icon

NxSphere® GEM300

Komplette 300-mm-Anlagenautomatisierung leicht gemacht
Überblick: Aufbauend auf NxSphere® GEM, NxSphere® GEM300 ist ein umfassender, GEM300-konformer Treiber, der die vollständige Kompatibilität mit 300-mm-Werkzeugen gemäß allen wichtigen SEMI-Standards (E87, E90, E94, E40, E116 und weitere) gewährleistet. Er vereinfacht die Objektmodellierung, das Prozessauftragsmanagement und die Host-Koordination für die Automatisierung von Halbleiteranlagen und bietet gleichzeitig eine schnelle Bereitstellung und hohe Wartungsfreundlichkeit.

Höhepunkte:

Alle Funktionen von NxSphere GEM.

Integrierter GEM300-kompatibler Treiber mit objektbasierter Modellierung.

Automatische Zustandsautomaten mit Persistenz und Wiederherstellung.

Model Builder für visuelle Konfiguration und sofortige Dokumentation.

Empfohlen für:

300-mm-Wafer-Bearbeitungswerkzeuge (Ätzen, Metrologie, CMP und mehr).

Werkzeuge mit automatisierten Handhabungssystemen (OHT, AGV).

Beschleunigen Sie die Qualifizierung Ihrer Fertigung mit einer vollständig integrierten, GEM300-konformen Automatisierungsplattform.
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NxSphere GEMBridge

NxSphere® GEMBridge

Einheitliches Gateway zwischen SECS/GEM und PLC/OPC UA

Überblick:

NxSphere® GEMBridge fungiert als industrielle Protokollbrücke und verbindet SPS-, SCADA- oder Modbus-Systeme mit SECS/GEM-Fabrikhosts. Es ermöglicht eine schnelle, programmierfreie Integration von SPS-Systemen in SECS/GEM und verwandelt SPS-basierte oder hybride Maschinen in vollständig SECS/GEM-konforme Anlagen, ohne dass die Steuerungslogik neu geschrieben werden muss.

Höhepunkte:

SPS-zu-SECS/GEM und Modbus-zu-SECS/GEM-Gateway.

Visuelles Tag-to-GEM Mapping (Statusvariablen, CEIDs, Alarme, Host-Befehle).

Admin Panel für Bereitstellung und Überwachung.

Erstellung von Dokumentation für SEMI-konforme Spezifikationen mit einem Klick.

Empfohlen für:

SPS-gesteuerte oder hybride Werkzeuge, die eine schnelle SECS/GEM-Befähigung durch OPC UA Mapping erfordern.

Ein konfigurationsgesteuertes Factory-Integrations-Gateway ohne Programmieraufwand, das OPC UA und SECS/GEM mit minimalem Aufwand miteinander verbindet.
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    Warum OEM-Gerätehersteller die SECS/GEM-Konformität benötigen

    Warum OEM-Gerätehersteller die SECS/GEM-Konformität benötigen

    Halbleiterfabriken laufen über standardisierte Kommunikation, und Geräte, die die SEMI-Anforderungen nicht erfüllen, qualifizieren sich schlichtweg nicht. Der Druck zur Einhaltung wächst, angetrieben von mehreren zusammenlaufenden Faktoren.

    Die meisten Kunden aus der Halbleiterindustrie verlangen die vollständige SECS/GEM-Konformität als Voraussetzung für die Qualifizierung der Anlagen. Anlagen, die nicht mit dem Host-System der Fabrik kommunizieren können, kommen nicht über die Evaluierungsphase hinaus.
    Standards wie SEMI E30, E37, E87 und E94 definieren, wie Werkzeuge den Status melden, Alarme behandeln, Rezepte verwalten und mit Host-Systemen koordiniert werden. Volle Konformität mit allen anwendbaren Standards wird erwartet.
    Moderne 300-mm-Fertigungsanlagen erfordern die Einhaltung des GEM300-Standards, der über die Grundfunktionen von GEM hinausgeht und die Verwaltung von Trägerplatten, die Nachverfolgung von Substraten sowie die Koordination von Prozessaufträgen umfasst.
    Fabrik-Hosts und MES-Systeme nutzen SECS/GEM, um Anlagendaten in Echtzeit zu erfassen, die Bereitstellung von Rezepturen zu automatisieren und Produktionsabläufe durchgängig zu verwalten.

    Da Fabriken Smart Manufacturing einführen, muss die Ausrüstung Echtzeit-Daten-Streaming, Analyseintegration und automatisierte Arbeitsabläufe unterstützen, um wettbewerbsfähig zu bleiben.

    Herausforderungen für OEMs bei der Halbleiteranlagenkommunikation

    Die Entwicklung von SECS/GEM von Grund auf gehört nach wie vor zu den am meisten unterschätzten Aufgaben in der Geräteentwicklung. Was zu Beginn eines Projekts noch überschaubar erscheint, nimmt in der Regel erheblich an Umfang zu, wenn sich die Compliance-Anforderungen und die Anforderungen an die Host-Kompatibilität häufen.

    Das Schreiben von Treiberprotokollen von Grund auf dauert Monate und bindet Ingenieurressourcen von der Kernproduktentwicklung ab.

    Die exakte Einhaltung aller erforderlichen SEMI-Standards und die Erstellung der für die Fab-Qualifizierung benötigten Dokumentation sind ohne speziell dafür entwickelte Werkzeuge zeitaufwändig.

    Unterschiedliche Fabs betreiben unterschiedliche MES- und EAP-Konfigurationen, was fortlaufende Kompatibilitätsarbeiten nach sich zieht, die stets beim OEM liegen.

    Ohne einen eigens dafür zuständigen SDK-Mitarbeiter verbringen die Teams viel Zeit mit Fehlerbehebung, Tests und Dokumentation – Aufgaben, die sich eigentlich automatisieren ließen.

    Industrie 4.0 & Smart Factory Automatisierung unterstützen

    Über die grundlegende Konnektivität hinaus erwarten moderne Fabs, dass Anlagen aktiv an der unternehmensweiten Intelligenz teilnehmen. Die Kommunikationssoftware von OEMs spielt eine zentrale Rolle, um dies zu ermöglichen.
    Anlagen-Daten fließen direkt in MES-, SPC- und RMS-Plattformen, was eine automatisierte Terminplanung, Chargenverfolgung und Prozesssteuerung ermöglicht.
    Kontinuierliche Statusaktualisierungen, Alarme und Ereignisdaten geben Bedienern und Ingenieuren sofortige Transparenz über die gesamte Produktionsfläche.
    Die Leistungsdaten der Ausrüstung unterstützen die frühzeitige Fehlererkennung und geplante Wartung vor ungeplanten Ausfallzeiten.
    Fernsteuerung, ereignisgesteuerte Reaktionen und Rezeptautomatisierung reduzieren den manuellen Aufwand in jeder Produktionsphase.
    Unser SECS/GEM Software integriert sich in Analyseplattformen, Cloud-Dashboards und SPC-Systeme und unterstützt so breitere Industrie 4.0-Initiativen, während sie sich weiterentwickeln.
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    Vorteile des Einsatzes von OEM-SECS/GEM-Softwarelösungen

    Die Entscheidung für eine speziell entwickelte SECS/GEM-Software verändert die Wirtschaftlichkeit der Geräteentwicklung. Anstatt die Einhaltung von Kommunikationsstandards als wiederkehrende Projektbelastung zu betrachten, erhalten OEMs eine wiederverwendbare, skalierbare Grundlage, die sie für ihre gesamte Produktpalette nutzen können.

    Schnellere Fab-Qualifizierung

    Vorab validierte, SEMI-konforme SDKs reduzieren den Prüf- und Dokumentationsaufwand, der für die Zulassung durch die Fertigungsanlage erforderlich ist.

    Reduzierter Entwicklungsaufwand

    Low-Code-Tools und vorgefertigte Protokolltreiber komprimieren Monate kundenspezifischer Entwicklung auf Tage.

    Verbesserte Interoperabilität

    Standardisierte Kommunikation stellt sicher, dass Werkzeuge über verschiedene Fertigungsumgebungen und Host-Konfigurationen hinweg konsistent funktionieren.

    Vereinfachte Compliance

    Automatisch generierte GEM-Handbücher und visuelle Modellbauer halten die Dokumentation ohne manuellen Aufwand auf dem neuesten Stand.

    Skalierbare Integration

    Lösungen unterstützen alles von Einzeltool-Piloten bis hin zu kompletten Werksinstallationen ohne architektonische Änderungen.

    Kürzere Markteinführungszeit

    Weniger Zeit für Kommunikationsinfrastruktur bedeutet mehr Ingenieurkapazitäten für Produktfeatures und Differenzierung.

    Von uns unterstützte Branchen

    Die Halbleiterfertigung ist unser Kerngeschäft, aber die gleichen Herausforderungen bei der Gerätekommunikation bestehen in einer Vielzahl von Hightech-Branchen:

    Halbleiterfertigung (OEM-Werkzeuge und Fabrikintegration)

    Photovoltaik und Solarfertigung

    Elektronikfertigung

    SMT-Fertigungslinien

    Optoelektronik

    Industrielle Automatisierung

    Wo immer Geräte zuverlässig und im großen Maßstab mit Fabriksystemen kommunizieren müssen, bringen unsere Lösungen die gleiche standardbasierte Konnektivität und denselben Low-Code-Bereitstellungsansatz. Zusätzlich, für Einrichtungen, die ältere Werkzeuge verwalten, unsere Automatisierung von Altanlagen Lösungen erweitern diese Konnektivität, ohne dass Änderungen an Hard- oder Software erforderlich sind.

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    Empowering Smarter Factories Through Seamless Integration

    Gängige Anwendungsfälle für OEM-Kommunikationslösungen für Geräte

    Die Kommunikationssoftware für OEM-Geräte unterstützt eine breite Palette von Integrationsszenarien, von der Bereitstellung neuer Werkzeuge bis hin zu Upgrades von Altsystemen. Hier sind einige der gängigsten Anwendungen:

    Integration neuer Halbleiterwerkzeuge in Fabrikumgebungen mit bestehenden SECS/GEM-Hostsystemen

    Sicherstellung der SECS/GEM-Konformität für OEM-Geräte während der Produktentwicklung

    Die Aufrüstung von Altsystemen zur Erfüllung der aktuellen SEMI-Kommunikationsstandards

    Anbindung von SPS-gesteuerten oder Modbus-gesteuerten Maschinen an Fabrik-Hosts über OPC UA

    Unterstützung für automatisiertes Rezeptmanagement, Alarmüberwachung und Fernsteuerungs-Workflows

    Beschleunigung der GEM-Dokumentationserstellung für Fabrikqualifizierung und Kundenakzeptanz

    Warum Insphere Technology für OEM-Ausrüstungslösungen wählen

    Mit tiefen Wurzeln in der Halbleiterkommunikation und einer weltweit installierten Basis, die führende Fabs und OEMs umfasst, bietet Insphere ein Maß an Fachwissen, das generische Integrationswerkzeuge einfach nicht erreichen können. Hier ist, was uns auszeichnet:

    Nachgewiesene Erfahrung

    Mehr als 15 Jahre Erfahrung in der Halbleiterkommunikation mit über 13.000 Installationen in Fabs und OEMs weltweit.

    Entwickelt für OEMs

    Unsere SDKs wurden speziell für Gerätehersteller entwickelt und ermöglichen dank Low-Code-Entwicklung eine erhebliche Verkürzung der Einarbeitungszeit für Ingenieure.

    Vollständige SEMI-Standardabdeckung

    Von GEM bis GEM300 decken unsere Produkte das gesamte Spektrum der SEMI-Kommunikationsanforderungen ab.

    Minimale Schulung erforderlich

    Dank intuitiver Tools und einer übersichtlichen Dokumentation können Teams SECS/GEM auch ohne fundierte Protokollkenntnisse implementieren.

    Langzeitkompatibilität

    Regelmäßige Updates und eine skalierbare Architektur halten unsere Lösungen mit den sich entwickelnden Fabrikationsanforderungen und SEMI-Standards im Einklang.

    Dedizierter OEM-Support

    Technischer Support während des gesamten Integrationszyklus, von der initialen Implementierung bis zur vollständigen Produktionsbereitstellung.

    Häufig gestellte Fragen zu unseren OEM-Ausstattungslösungen

    SECS/GEM ist eine Reihe von SEMI-Kommunikationsstandards, die festlegen, wie Halbleiteranlagen Daten mit den Host-Systemen der Fabrik austauschen. Sie regeln die Statusmeldung der Anlagen, die Alarmbearbeitung, die Rezepturverwaltung und Fernbefehle und sind für die Qualifizierung von Anlagen in den meisten Halbleiterfabriken erforderlich.
    SECS/GEM schafft einen gemeinsamen Kommunikationsstandard zwischen Anlagen und Werkshosts und ermöglicht so eine einheitliche Datenerfassung, die automatisierte Bereitstellung von Rezepturen sowie die Ereignismeldung in Echtzeit. Dies reduziert manuelle Eingriffe und schafft eine zuverlässige Grundlage für eine skalierbare Automatisierung im gesamten Produktionsbereich.
    Ein SECS/GEM SDK bietet vorgefertigte, SEMI-konforme Protokolltreiber, wodurch die Entwicklung von Kommunikationssoftware von Grund auf entfällt, was die Entwicklungszeiten verkürzt, den Entwicklungsaufwand reduziert und die Einhaltung der Normen bereits ab Beginn der Entwicklung gewährleistet.
    Bei einem speziell entwickelten SDK-System wie NxSphere® GEM dauern die meisten Implementierungen Tage bis Wochen. Low-Code-Tools, integrierte Simulatoren und automatisch generierte Dokumentation verkürzen die Entwicklungs- und Validierungszeit erheblich.
    Ja. Die SECS/GEM-Software verbindet Anlagen und Werkssysteme wie MES, SPC und RMS miteinander und leitet Anlagendaten in Echtzeit weiter, um Arbeitsabläufe in den Bereichen Produktionsüberwachung, Prozesssteuerung und Qualitätsmanagement zu unterstützen.
    Ja. NxSphere® GEMBridge verbindet SPS- und Modbus-Steuerungen über OPC-UA-Mapping mit SECS/GEM-Fabrikhosts, ohne dass die bestehende Steuerungslogik geändert oder eigener Protokollcode geschrieben werden muss.
    Die meisten Halbleiterfabriken verlangen die vollständige SECS/GEM-Konformität, bevor sie Anlagen für die Produktion freigeben. Die Konformität gewährleistet, dass sich die Anlagen in die Host-Systeme der Fabrik integrieren lassen, und reduziert den Aufwand für die Einbindung bei den Kunden der Fabrik während des Qualifizierungsprozesses.
    GEM (SEMI E30) definiert die für Halbleiteranlagen erforderlichen grundlegenden Kommunikationsverhalten. GEM300 erweitert dies für 300-mm-Umgebungen und fügt erweiterte Objektmodelle für das Trägermanagement (E87), die Substratverfolgung (E90) und das Auftragsmanagement (E40, E94) hinzu.

    Ja. Lösungen wie NxSphere® GEMBridge und NxSphere® DEX verbinden ältere Geräte ohne Hardware-Änderungen mit SECS/GEM-Werkshosts – entweder über OPC-UA-Mapping oder durch nicht-intrusive Datenerfassung über vorhandene Videoausgangsschnittstellen.

    Der primäre Anwendungsfall ist die Halbleiterfertigung, aber die OEM-Equipment-Kommunikationssoftware wird auch in den Bereichen Photovoltaik und Solar, Elektronik, SMT-Produktion, Optoelektronik und industrielle Automatisierung eingesetzt, überall dort, wo eine standardisierte Maschinen-zu-Host-Kommunikation erforderlich ist.