Proven on Production Equipment

NxSphere® GEM(以前称为 SecsToHost.NET) is a fast, reliable SECS/GEM SDK trusted by equipment manufacturers worldwide to deliver SEMI-compliant production equipment to leading semiconductor fabs, with .NET support, intelligent APIs, and built-in protocol handling that minimize development effort.

15+

Years of SECS/GEM experience

10,000+

设备
Installations

80+

Customer
worldwide

13

Countries across Asia,
Europe and America

Trusted by Equipment Makers

Integrate into the Architecture You Already Use

Use .NET DLL for native integration or gRPC for C++, Python and other environments. Keep your equipment control architecture intact.

Equipment SECS/GEM communication architecture diagram

Build Your GEM Interface with Less Code

Use Model Builder to define your equipment model. The Intelligent API handles the complexity behind the scenes.

Validate Before Connecting to the Factory Host

Use the included SWIFT Host Simulator to thoroughly test your GEM interface in-house.

Generate the GEM Documentation Your Customer Needs

Automatically generate the Equipment GEM Interface Manual from your equipment model.

Ready to Build Your SECS/GEM Interface?

进一步了解 NxSphere® GEM

文件和支持

NxSphere® GEM 提供快速入门指南,帮助您在数分钟内完成首次 SECS/GEM 连线与运行,并配备完整的开发者指南,适合几乎没有 SECS/GEM 领域经验的用户。 通过 Model Builder 自动生成的 Host 通信规格说明书,以及可直接使用的示例应用程序,开发人员可在实践中学习,同时完全符合 SEMI 标准。 结合在系统部署、问题排查与客制化方面的及时技术支持,NxSphere® GEM 可协助您快速、稳健地从零开始,顺利达成 GEM-ready。

编程界面

C#, VB.NET, Python, Visual C++, LabVIEW, gRPC (coming soon)

多平台支持

微软视窗 32 位和 64 位

Linux 32 位和 64 位

系统要求

Windows Server 2019/2016/2012 R2;Windows 7/8/10/11;≥1.3 GHz CPU;1 GB 内存;200 MB 磁盘;以太网

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    什么是SECS/GEM?它为何对半导体设备如此重要?

    什么是SECS/GEM?它为何对半导体设备如此重要?

    SECS/GEM 是半导体行业中设备与主机通信的标准协议,任何向现代晶圆厂供货的原始设备制造商(OEM)都必须支持该协议。.

    SECS/GEM 规定了设备与工厂主机之间如何交换消息,涵盖从连接管理、事件报告到报警通知和远程命令执行等所有方面,这些内容均遵循 SEMI E4、E5、E30 和 E37 标准。.

    晶圆厂运行着来自数十家不同原始设备制造商(OEM)的设备;SECS/GEM 提供了一种通用语言,使所有设备都能连接到单一的工厂自动化系统,而无需进行定制化的点对点集成。.

    制造执行系统依赖于结构化的 GEM 数据,例如工艺事件、设备状态和数据变量报告,以自动做出批次处置决策、跟踪良率并实时强制执行工艺控制限制。.

    大多数半导体晶圆厂不会批准某台设备投入量产,除非该设备能证明完全符合GEM标准;对于原始设备制造商(OEM)而言,支持SECS/GEM是商业上的先决条件,而非可选功能。.

    致力于实现预测性维护、自动化工艺控制和实时分析的先进晶圆厂,需要从每台设备获取持续、标准化的数据流,而所有这些数据流均通过SECS/GEM通信层传输。.

    自主开发SECS/GEM通信软件面临的挑战

    从头开始构建一个可靠的 SECS/GEM 实现方案是一项重大的工程任务,这会占用本应投入到团队受聘负责的核心设备开发工作上的资源。.

    SECS/GEM 涵盖了多个相互依存的 SEMI 标准,每个标准都具有精确的消息结构、状态机要求和序列规则,必须正确实现这些内容,单个 GEM 服务才能正常运行。.

    SEMI 标准不断发展,要使内部实现与当前 E30、E37 及相关规范保持一致,需要持续的工程投入,这会随着产品生命周期的延长而不断累积。.

    如果没有专用工具,诊断 SECS/GEM 会话中的故障非常耗时;工程师必须根据原始 SML 日志,在复杂的状态转换中手动追踪消息序列,才能找出主机通信问题的根本原因。.

    不同的晶圆厂运行不同的主机系统,并有不同的 GEM 功能期望,而在一个主机配置下构建的内部实现,在部署到新的客户站点时经常需要返工。.

    一个完整的、生产级别的 SECS/GEM 实现方案,涵盖所有必需的 GEM 服务、缓冲处理、状态模型和文档,其开发和验证可能需要数月时间,这将导致设备发货延迟,并推迟客户的认证进度。.

    内部的 SECS/GEM 代码库通常由少数几位具备深厚协议专业知识的工程师负责维护;当这些人员离职或调往其他项目时,知识断层便会成为长期支持方面的一大隐患。.

    在OEM设备中使用SECS/GEM和SDK的优势

    一款专为SECS/GEM和SDK设计的专用设备,能有效减轻设备开发中最繁重的工程负担,让您的团队能够专注于机器本身,而非协议。.

    SECS/GEM 驱动程序软件的常见应用场景

    NxSphere® GEM 已广泛应用于各类设备及集成场景,在这些场景中,可靠且符合标准的主机通信是必不可少的要求。.

    支持智能工厂和工业 4.0 连接

    支持智能工厂和工业 4.0 连接

    SECS/GEM 是一层基础通信层,它使设备能够被感知、可控,并具备数据传输能力,从而 智能工厂自动化.

    NxSphere® GEM 通过标准化的 GEM 服务公开结构化设备数据,包括工艺事件、状态变量和报警状态,为 MES 平台提供进行批次追踪、良率管理和自动化工艺控制所需的可靠数据源。.

    事件驱动的报告和持续的状态变量更新使工厂主能够实时监控设备状态和过程条件,支持对过程偏差和计划外停机的快速响应。.

    来自设备传感器和过程变量的连续 GEM 数据收集为维护系统提供了识别故障前退化趋势所需的历史和实时数据。.

    通过 GEM 传送的主机发起的远程命令允许工厂自动化系统在设备上直接触发配方选择、工艺启动和参数更新,从而消除了标准生产流程中的手动操作步骤。.

    符合 GEM 标准的设备可以参与全厂范围的工艺控制计划,在这些计划中,主机系统可以从单一控制平台推送参数更改、收集数据收集报告,并对整个工具集强制执行工艺限制。.

    基于 NxSphere® GEM 构建的设备可与任何符合 SEMI 标准的工厂自动化基础设施无缝对接,既能支持当前的智能工厂部署,也能满足下一代晶圆厂更严苛的数据和控制需求。.

    我们支持的行业

    NxSphere® GEM 被各行各业的原始设备制造商(OEM)和系统集成商广泛采用,这些领域均要求采用半导体级设备通信标准。.

    晶圆加工、光刻、刻蚀、沉积、检测和计量设备制造商均依赖 NxSphere® GEM,以实现符合 GEM 标准的主机通信,并满足全球尖端晶圆厂的认证标准。.

    PCB制造、功能测试和自动化检测设备制造商使用NxSphere® GEM将设备连接到工厂自动化系统,以满足先进电子生产设施的主机通信要求。.

    太阳能电池和组件设备原始设备制造商(OEM)采用支持PV2(PVECI)的NxSphere® GEM,以实现光伏生产线中的标准化主机通信,从而支持制造执行系统(MES)集成和自动化过程控制。.

    包括贴片、回流焊和自动光学检测系统在内的表面贴装技术设备,均集成了NxSphere® GEM,用于连接工厂主机系统,并参与生产线层面的生产跟踪与控制。.

    用于LED、激光和光电子器件制造的设备集成了NxSphere® GEM技术,以满足符合半导体级标准的精密制造环境中主机通信和数据采集的要求。.

    在传统半导体晶圆厂之外,那些采用基于SEMI标准的自动化标准的制造企业,会使用NxSphere® GEM将设备接入符合规范且与主机连接的生产网络。.

    Empowering Smarter Factories Through Seamless Integration

    常见问题解答

    SECS/GEM(SEMI设备通信标准/通用设备模型)由 半导体 是半导体制造设备与工厂主机系统之间通信的行业标准协议。它定义了机器如何向工厂 MES 报告状态、事件、警报和过程数据。NxSphere® GEM 实现了完整的 SECS/GEM 标准。.

    NxSphere® GEM 是一个 SECS/GEM SDK 和通信库,专为需要构建 SEMI 兼容工具的设备 OEM 设计。它提供 .NET 库、智能 API、可视化模型生成器和内置主机模拟器。.

    NxSphere® GEM 支持完整的 SECS/GEM 通信协议,包括 SECS-II 信息编码、GEM 状态模型、HSMS (TCP/IP) 和 SECS-I (RS232) 传输。它涵盖 SEMI E4、E5、E30、E37、E39 和 E40 标准。.

    是的. NxSphere® GEM 内置了一个 SWIFT 模拟器,可模拟主机终端,让您无需实际工厂连接即可即时验证 SECS/GEM 通信。.

    NxSphere® GEM 包括全面的示例程序、快速入门指南和用于实践学习的 SECS/GEM 模拟器。通过可视化模型生成器,您无需编写 SECS/GEM 协议代码即可配置 GEM 服务。提供 30 天免费评估。.

    .NET SECS/GEM SDK 为设备开发商提供了一个开箱即用的通信库,其中包含智能 API、预构建的 GEM 服务以及示例程序,从而免去了从头开始实现协议的麻烦,并显著缩短了开发时间,降低了合规风险。.

    SECS/GEM PLC网关 这是一个中间件层,负责将PLC标签数据转换为标准化的SECS/GEM消息,从而使PLC控制的设备能够与半导体工厂的主机进行通信,而无需修改底层的机器控制程序。.

    是的。. SECS/GEM 是设备与工厂主系统之间的标准通信层,而 NxSphere® GEM 提供了 MES 平台在批次追踪、良率管理和自动化过程控制方面所需的结构化事件报告、状态变量和报警数据。.

    SECS/GEM 工厂集成软件 使工厂能够实时监控设备状态、收集过程数据、发送远程命令并触发自动化工作流,从而构成任何半导体工厂自动化系统的通信主干。.

    面向设备制造商的SECS/GEM 主要用于半导体制造,但也广泛应用于电子、光伏太阳能、SMT、光电子和其他需要标准化设备到主机通信的精密制造行业。.