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GEM300 standards evolution from 150mm to 300mm wafer fabs

什么是 GEM300？SEMI 300mm 标准入门指南

在 300mm 晶圆发展之前，SEMI SECS-II E5 与 GEM E30 是支持 IC 制造商实现设备自动化的初始标准。
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什么是SECS/GEM？协议入门指南

本指南旨在对 SECS/GEM 及其在半导体行业中的应用进行概述和基本介绍，以帮助您更好地理解 SECS/GEM 的功能。.
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为您的设备或工具添加 SECS/GEM

本文将介绍如何使用 Visual C#.... 将 SecsToHost.Net 集成到设备应用软件中。.
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How to choose a SECS/GEM SDK for semiconductor equipment

半导体自动化

几十年来，半导体行业一直走在自动化的最前沿，利用机器人和其他自动化设备...
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