是什么?

SECS/GEM(或 GEM300)是用于工厂自动化的主机—设备通信接口标准,由 SEMI 制定并维护。它定义了设备与工厂主机系统之间如何建立通信、交换数据以及进行远程控制。

我们的 NxSphere® GEM 是一套符合 SEMI 标准的 SECS/GEM 接口软件,帮助设备厂商将标准化的设备通信能力直接集成到设备控制系统中,从而显著降低开发复杂度并缩短导入时间。

GEM300 是一组专为 300mm 晶圆厂环境设计的 SEMI 标准集合,包括 E87、E90、E94、E40、E116 等,涵盖载具管理、基板追踪、作业管理及设备集成要求。

我们的 NxSphere® GEM300 模块基于 NxSphere® GEM 架构构建,提供符合 GEM300 要求的设备通信能力,帮助设备厂商更快通过晶圆厂验收,并降低集成与维护成本。 NxSphere® GEM),可帮助原始设备制造商更快地实施 SECS/GEM 和 SEMI GEM300 标准,实现合规性,更快地获得一级晶圆厂的认可,并减少昂贵的集成周期。.

SECS/GEM 是设备与主机之间通信的基础标准,广泛应用于后段封装、IC 测试、LED 与光伏等制造环境,也作为 200mm 产线的标准接口。 GEM300 则是在 SECS/GEM 基础上,针对 300mm 晶圆厂引入更完整的自动化与物料控制规范,包括载具、基板与作业流程管理。

我们的 NxSphere® GEM 和 NxSphere® GEM300 产品可帮助您完全符合 SECS/GEM 和 SEMI GEM300 标准。如果您的工具是用于 300mm 晶圆厂,您只需要我们的 GEM300 套件。.

NxSphere® GEM 是 Insphere 的核心 SECS/GEM 接口软件(SDK 及运行时),用于设备端的标准化通信实现。 它为设备控制软件提供完整的 SECS/GEM 协议支持,包括状态模型、数据采集、远程命令与诊断功能,确保设备符合 SEMI 规范,同时降低开发与维护难度。

NxSphere® GEM300 是面向 300mm 晶圆厂的模块化扩展方案,在 NxSphere® GEM 基础上提供 GEM300 所需的功能支持。 它包含载具管理(E87)、作业控制(E94)、基板追踪(E90)等关键能力,帮助设备更高效地完成晶圆厂的自动化集成与验收流程。

NxSphere® GEMBridge 是一款 SECS/GEM 通信网关,主要用于 PLC 控制或半自动化设备的升级场景。 该方案可在不修改原有设备控制软件的情况下,将 PLC 或传统设备接入工厂 SECS/GEM 环境,是设备改造与产线升级的实用选择。

NxSphere® EAP 是一套用于工厂侧的 SECS/GEM 设备接入与管理平台。 它可集中管理多台设备的通信与数据交互,作为 MES 或自动化系统与设备之间的中间层,确保设备通信符合 SEMI 标准并保持一致性。

作为 ‘最后一英里 ’连接,它可确保无缝、符合标准的设备通信以及工具到主机的通信。.

NxSphere® DEX 是专为老旧设备自动化设计的软件解决方案。

它通过信号采集、OCR 与界面识别等方式,在不更改设备硬件或控制系统的前提下,实现 SECS/GEM 通信能力,是旧设备数字化与产线升级的有效方案。这种专用的一体化盒子可在旧式机器上实现 SECS/GEM 通信接口,而无需更改设备上的现有硬件或软件。它的工作原理是接入机器的视频输出信号,并使用 OCR 捕捉机器图形用户界面上的可用数据和机器键盘/鼠标输入,从而在屏幕上模拟 RPA 自动化。.

它是工厂数字化转型的关键解决方案,因为它能够整合传统设备,而无需进行昂贵的硬件改造。.

整合伙伴

是的。我们的 SECS/GEM 主机接口软件解决方案套件专门用于综合设备集成和传统设备集成。.

无论您使用的是新工具还是旧设备,我们的自动化软件(包括 NxSphere® EAP, GEMBridge, 和 DEX-可将它们无缝集成到主机/MES 环境中。.

该方式可在最小化对现有产线影响的前提下,实现旧设备自动化与工厂系统整合。同时,我们也可为客户提供 EDA(Equipment Data Acquisition)相关的整合支持。

We also provide comprehensive EDA integration support for our customers.

大多数 OEM SECS/GEM 与我们的软件解决方案集成,例如 NxSphere® GEM 或 NxSphere® GEM300, 这些项目在 2-4 周内完成(包括测试),而不是几个月。.

同样,工厂自动化软件集成使用 NxSphere® EAP 或传统设备集成项目 NxSphere® DEX 可根据其范围和测试周期快速部署。.

行业标准

是-全部 NxSphere® 产品均依据相关 SEMI 标准进行设计与实现

我们的软件方案涵盖设备通信驱动、Modbus 至 SECS/GEM 协议网关,以及符合 GEM300 要求的通信驱动,可协助设备符合以下关键 SEMI 标准,包括但不限于: • E30(GEM) • E37(HSMS) • E87(载具管理) • E90(基板追踪) • E94(控制作业管理) • E116(设备绩效追踪) 这些解决方案可协助设备达到 300mm 工具的合规要求,并符合 SECS/GEM 及 SEMI GEM300 相关标准规范。 SECS/GEM 和 SEMI GEM300 标准.

可以。虽然我们的核心技术与 SECS/GEM 通信协议源自半导体制造领域,但相关的自动化软件架构与工业协议整合能力,同样适用于其他高精度制造产业。 我们的解决方案已应用于电子制造、医疗器材生产等领域,特别适合需要设备整合、机器连线与生产追溯能力的应用场景。

客户支持

我们提供完整的安装后技术支持,基础来自 15 年以上的 SECS/GEM 与工厂自动化经验。 我们的解决方案已在 14 个国家、超过 10,000 套设备上部署与验证,确保系统稳定性与合规性。 项目上线后,客户可持续获得可扩展、低代码的软件方案支持,适用于 OEM 与工厂端应用,并配合专业团队提供设备整合与旧系统升级的技术指导。 我们的目标是在整个生命周期内,协助客户稳健推进工厂数字化转型。

为什么选择 Insphere?

Insphere Technology 拥有 15 年以上 SECS/GEM 与工厂自动化实战经验,并已在全球 14 个国家完成超过 10,000 套部署。 我们提供可扩展、低代码的自动化软件,适用于 OEM 与工厂应用场景,擅长新设备导入、旧设备整合与系统升级。 通过完整的自动化产品组合,我们协助客户提升系统互操作性、简化运作流程,并以稳定、可靠的软件架构支撑工厂的数字化发展。

我们提供 现场或线上演示、概念验证(POC)与技术咨询,协助客户评估解决方案的可行性。 客户可在正式导入前,确认我们的自动化软件如何对应其 SECS/GEM 或 GEM300 需求,以及如何处理特定设备整合挑战。 我们重视技术与业务目标的一致性,确保系统在合规性与设备对接层面达到预期。

合适的解决方案取决于您的角色与项目需求:

  • OEM(新设备)可考虑 NxSphere® GEM, NxSphere® GEMBridge, 和 NxSphere® GEM300 以满足 SECS/GEM 及 300mm 设备合规要求。
  • 对于工厂自动化工程师而言,简化工具与主机之间的通信,请查看 NxSphere® EAP.
  • 用于升级旧版非 SECS/GEM 机器、, NxSphere® DEX 是理想的传统自动化解决方案。它是一款专用于传统工具的传统机器自动化和自动化软件,可提供机器连接软件,实现传统设备的无缝集成。.

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