GEM300 是套 半导体 一套使 300 毫米半导体工厂能够自动化物料搬运和设备控制的标准。建立在 SECS/GEM (SEMI E5 SECS-II 和 SEMI E30 GEM) 之上，GEM300 增加了对载体管理、衬底跟踪、控制作业和工艺作业的支持。.
本指南将解释GEM300是什么，为什么需要它，以及核心标准（SEMI E87、E90、E94、E40、E39）如何协同工作以实现全自动300mm生产。.
为何 300mm 工厂需要 GEM300
随着更大、更重的300毫米晶圆以及更小芯片结构的引入，手动物料搬运变得不切实际且易于造成污染。半导体工厂需要通过OHT（架空起重运输）和AGV（自动导引车）系统实现物料配送的全自动化。.
为了支持这种级别的自动化，晶圆厂需要标准化通信，以实现：
- 载具输送与验证 (SEMI E87)
- 基板跟踪（SEMI E90）
- 处理作业和控制作业管理 (SEMI E40, E94)
- 对象生命周期服务 (SEMI E39)
这些标准共同构成了GEM300——现代300毫米晶圆厂自动化的基础。.
什么是 GEM300？
GEM300 是一套 SEMI 标准，统称为“SEMI 300mm 标准”——包括 SEMI E39、SEMI E40、SEMI E87、SEMI E90 和 SEMI E94。它为工厂主机提供了复杂、标准化的方法来控制设备和自动化物料搬运。.
GEM300 基于 SECS/GEM（SEMI E30 GEM 和 SEMI E5 SECS-II）构建，如下图所示：
GEM300 标准
| SEMI 标准 | 说明 | 目的 |
| E87 | 承运商管理规范（CMS） | 管理物料的输送、处理与验证，确保预期的物料已正确送达设备。 |
| E90 | 基底跟踪管理规范 | 定义制造过程中基板的标准化追踪方式，其概念与 E87 对载具的管理方式一致。 |
| E40 | 处理管理规范（PJM） | 流程作业管理涉及加工资源对物料的加工。其功能是确保交付给加工模块的材料是按照正确的配方加工的 |
| E94 | 控制作业管理（CJM）规范 | 提供对制程作业的监督层级控制，使主机系统能够管理复杂的加工情境。 |
| E39 | 物件服务标准：概念、行为与服务 | 定义在物料处理过程中，各类物件如何被动态建立与删除，并规范物件属性之间的交互方式。 |