GEM300は、〜のスイートです セミ 300mm半導体ファブにおけるマテリアルハンドリングおよび設備制御の自動化を可能にする標準規格。SECS/GEM（SEMI E5 SECS-II および SEMI E30 GEM）を基盤とし、GEM300 はキャリア管理、基板追跡、制御ジョブ、プロセスジョブのサポートを追加します。.
このガイドでは、GEM300 とは何か、なぜそれが不可欠になったのか、そしてコア規格（SEMI E87、E90、E94、E40、E39）がどのように連携して、300mm生産の完全自動化を可能にするのかを説明します。.
なぜ300mmファブにはGEM300が必要なのか
300mmウェーハは大型化・重量化し、チップのトポロジーは微細化するにつれて、手作業での材料搬送は非現実的で汚染のリスクも高くなりました。半導体工場では、OHT（Overhead Hoist Transport）およびAGV（Automated Guided Vehicle）システムを使用した材料搬送の完全自動化が必要となりました。.
このレベルの自動化をサポートするために、ファブは次のような標準化された通信を必要としました。
- キャリアデリバリーおよびバリデーション（SEMI E87）
- 基板処理中の追跡 (SEMI E90)
- ジョブ処理とジョブ管理の制御（SEMI E40、E94）
- オブジェクトライフサイクルサービス (SEMI E39)
これらの規格は、 GEM300 、すなわち現代の300mmウェーハファブ自動化の基盤を collectively 形成しています。.
GEM300とは？
GEM300は、「SEMI 300mm標準」として知られる一連のSEMI標準（SEMI E39、SEMI E40、SEMI E87、SEMI E90、SEMI E94を含む）です。これは、ファクトリホストが装置を制御し、マテリアルハンドリングを自動化するための洗練された標準化されたアプローチを提供します。.
GEM300 は、以下に示すようにSECS/GEM（SEMI E30 GEMおよびSEMI E5 SECS-II）の上に構築されています。
GEM300規格
| SEMI規格 | 説明 | 目的 |
| E87 | キャリアマネジメント（CMS）仕様 | 材料の搬入、取り扱い、検証を管理する。その目的は、期待された材料が設備に搬入されたかどうかを検証することである。 |
| E90 | 基板トラッキング管理仕様 | E87がキャリアに適用しているのと同様に、製造中の基板を追跡するための標準的な手段を定義する。 |
| E40 | 処理管理仕様（PJM） | プロセスジョブ管理は、加工リソースによる材料の加工に関係する。その機能は、プロセスモジュールに送られた材料が正しいレシピで処理されることを保証することです。 |
| E94 | コントロール・ジョブ・マネジメント(CJM)の仕様 | ホストが複雑な処理シナリオを管理できるように、材料処理装置上のプロセスジョブに監督レベルのコントロールを提供します。. |
| E39 | オブジェクトサービス標準：概念、動作、サービス | マテリアル処理中に様々なタイプのオブジェクトが動的に作成・削除される方法を定義します。オブジェクト属性の相互作用を指定します。 |