GEM300 ist die Suite von SEMI Standards, die es ermöglichen, dass Halbleiter-Fabs mit 300 mm Materialtransport und Anlagensteuerung automatisieren. Auf SECS/GEM (SEMI E5 SECS-II und SEMI E30 GEM) aufgebaut, fügt GEM300 Unterstützung für Trägermanagement, Substratverfolgung, Steuerungsjobs und Verarbeitungjobs hinzu.
Diese Anleitung erklärt, was GEM300 ist, warum es notwendig wurde und wie die Kernstandards (SEMI E87, E90, E94, E40, E39) zusammenarbeiten, um eine vollautomatische 300-mm-Produktion zu ermöglichen.
Warum 300-mm-Fabs GEM300 benötigen
Mit der Einführung größerer und schwererer 300-mm-Wafer und kleinerer Chip-Topologien wurde die manuelle Materialhandhabung unpraktisch und birgt das Risiko von Kontaminationen. Halbleiterfabriken erforderten die vollständige Automatisierung der Materiallieferung mithilfe von OHT- (Overhead Hoist Transport) und AGV- (Automated Guided Vehicle) Systemen.
Um dieses Automatisierungsniveau zu unterstützen, benötigten Fabriken eine standardisierte Kommunikation für:
- Carrier-Übergabe und Validierung (SEMI E87)
- Substratverfolgung während der Verarbeitung (SEMI E90)
- Prozessjobs und Steuerung des Jobmanagements (SEMI E40, E94)
- Objektlebenszyklus-Dienste (SEMI E39)
Diese Standards bilden zusammen GEM300 – die Grundlage der modernen Automatisierung von 300-mm-Wafer-Fabriken.
Was ist GEM300?
GEM300 ist eine Sammlung von SEMI-Standards, die kollektiv als “SEMI 300-mm-Standards” bekannt sind – einschließlich SEMI E39, SEMI E40, SEMI E87, SEMI E90 und SEMI E94. Es bietet einen ausgeklügelten, standardisierten Ansatz für Produktionsleitstellen, um Geräte zu steuern und die Materialhandhabung zu automatisieren.
GEM300 basiert auf SECS/GEM (SEMI E30 GEM und SEMI E5 SECS-II), wie unten dargestellt:
GEM300 Normen
| SEMI-Norm | Beschreibung | Zweck |
| E87 | Spezifikation für Carrier Management (CMS) | Verwaltet die Lieferung, die Handhabung und die Validierung des Materials. Ziel ist es, zu validieren, dass das erwartete Material an die Ausrüstung geliefert wurde |
| E90 | Spezifikation für das Substrat-Tracking-Management | Definiert einen Standard für die Rückverfolgung von Substraten in der Fertigung in der gleichen Weise wie E87 für Carrier |
| E40 | Spezifikation für das Verarbeitungsmanagement (PJM) | Die Prozeßauftragsverwaltung befaßt sich mit der Verarbeitung von Material durch eine Verarbeitungsressource. Sie hat die Aufgabe, sicherzustellen, dass das an das Prozessmodul gelieferte Material mit dem richtigen Rezept verarbeitet wird |
| E94 | Spezifikation für Control Job Management (CJM) | Bietet eine übergeordnete Kontrollebene für Prozessaufträge auf Materialverarbeitungsanlagen und ermöglicht Hosts die Verwaltung komplexer Verarbeitungsszenarien. |
| E39 | Object Services Standard: Konzepte, Verhalten und Dienste | Legt fest, wie verschiedene Arten von Objekten während der Materialbearbeitung dynamisch erstellt und gelöscht werden. Legt die Interaktion von Objektattributen fest |