NxSphere® GEM300
GEM300-konforme Software für die Automatisierung von 300-mm-Anlagen (weiter unten in kleinerer Darstellung)
Beschleunigen Sie Ihren Weg zur GEM300-Standardkonformität
NxSphere® GEM300 (früher bekannt als STHGEM300) ist ein GEM300 SDK, das OEMs dabei hilft, ihre 300-mm-Werkzeuge schneller vollständig SEMI-konform zu machen. Es unterstützt SEMI E87 (Carrier Management), SEMI E90 (Substrate Tracking), SEMI E94 (Control Job Management), SEMI E116 (Equipment Performance Tracking) und verwandte Standards.
Die auf NxSphere® GEM basierende Lösung bietet umfassende Unterstützung für GEM300-Standards und verarbeitet automatisch deren Zustandsmodelle, Handshakes und gegenseitigen Abhängigkeiten, wobei die SEMI-Basissstandards E39, E40, E37 und E5 abgedeckt werden.
Mit seinem integrierten 300-mm-Objektmodell, Beispiel-Workflows und Persistenzunterstützung können sich Ingenieure auf die Werkzeugsteuerung konzentrieren, während GEM300 die Koordination von Trägern, Jobs und Substraten übernimmt und eine nahtlose Host-Interoperabilität gewährleistet.
Warum OEMs NxSphere wählen® GEM300
- ✓Volle GEM300 StandardunterstützungE87, E40, E90, E94 und E116 mit Zustandautomaten, Handshakes und Persistenz.
- ✓SEMATECH & SELETE-konformValidierte Rundlaufproben erfüllen die operativen Anforderungen von SEMATECH und SELETE für 300-mm-Fabs.
- ✓Auto GEM300 Referenzhandbuch: Erstellung Ihrer vollständigen GEM300-Host-Integrationsdokumentation mit nur einem Klick.
- ✓Bewährt und vertrauenswürdig: Basierend auf dem soliden Fundament von NxSphere® GEM, das weltweit in allen 300-mm-Fertigungsstätten zum Einsatz kommt.
als eine voll integrierte OEM SECS GEM Lösung, NxSphere® GEM300 bietet Geräteherstellern alles, was sie benötigen, um die Qualifizierung schneller abzuschließen und ihre Produkte mit Zuversicht auszuliefern.
Alles, was Sie für GEM300 Konnektivitätsstandards brauchen
Ein vollständiges GEM300- und SDK-Paket mit automatischen Zustandsmaschinen für SEMI E87, E90, E94 und E116. Es umfasst visuelle Objektmodellierung, validierte Muster und eine Dokumentation per Mausklick zur Einhaltung der Anforderungen für 300-mm-Anlagen.
Umfassende Kernfunktionen
Übernimmt den gesamten Funktionsumfang von NxSphere GEM, einschließlich Ereignissen, Alarmen, Rezepten, Fernbefehlen, Spooling und Zustandsmodellen.
Intuitive Objektmodellierung
Visual Model Builder zur Koordination komplexer logischer GEM300-Objekte, darunter Ladeanschlüsse, Substratstandorte, Verarbeitungsmodule und vieles mehr.
Rationalisierte Standardintegration
Verwalten Sie komplexe Abhängigkeiten zwischen den Standards E87, E90, E94 und E116 direkt nach der Installation.
Automatisierte Zustandsmaschinen
Automatische Zustandsverwaltung und Datenspeicherung nach einem Neustart. Keine manuelle Zustandsverfolgung erforderlich.
Automatisierte Dokumentation
Einfache GEM300 manuelle Generierung für vollständige Host-Integrationsspezifikationen.
Nahtloser Upgrade-Pfad
Führen Sie mühelos ein Upgrade von NxSphere® GEM SDK durch, um die volle GEM300-Funktionalität mit minimalen Codeänderungen zu nutzen.
Rundreise-Beispielprogramm und Simulator
NxSphere® GEM300 umfasst eine Beispielanwendung für den Rundlauf sowie den GEM300-Simulator, die gemeinsam den gesamten 300-mm-Workflow veranschaulichen – vom Beladen des Trägers bis zum Abschluss der Charge. Ein einziger API-Aufruf löst automatisch die gesamte Abfolge von Zustandsmaschinen, variablen Daten und Ereignissen aus. Der Simulator stellt vorgefertigte Vorlagen für Host-Nachrichten bereit, sodass Entwickler die Ankunft des Trägers, den Auftragsstart, die Substratverfolgung und den Abschluss der Charge testen können, ohne eine Host-Anwendung erstellen zu müssen.
Ihr zuverlässiger weltweiter Partner für SECS/GEM-Integration
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Erfahren Sie mehr über NxSphere® GEM300
Die SEMI GEM300-Standards sind leistungsstark, aber äußerst komplex und erfordern eine sorgfältige Abstimmung von Trägern, Substraten und Prozessaufträgen. NxSphere® GEM300 wurde entwickelt, um diesen Weg mit klaren, auf Entwickler ausgerichteten Ressourcen zu vereinfachen.
Unsere Schnellstartanleitung führt Sie durch die wichtigsten Grundlagen, während die Schritt-für-Schritt-Anleitung zum Arbeitsablauf zeigt, wie das vollständige GEM300-Roundtrip-Szenario genau so ausgeführt wird, wie es von SELETE und SEMATECH definiert wurde.
Ein umfassender Entwicklerleitfaden behandelt währenddessen jedes Detail, von der Materialanlieferung bis zur Auftrags- und Ausnahmesteuerung, unterstützt durch funktionierende Beispielanwendungen, die die Konzepte lebendig werden lassen.
Programmierschnittstelle
C#, VB.NET, Python, gRPC (in Kürze)
Multiplattform-Unterstützung
Microsoft Windows 32-Bit und 64-Bit
Linux 32-Bit und 64-Bit
Systemanforderungen
Windows Server 2019/2016/2012 R2, Windows 7/8/10/11, ≥1,3 GHz CPU, 1 GB RAM, 200 MB RAM, Ethernet
NxSphere anfordern® GEM300 Demo
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Was ist GEM300 und warum ist es für die 300-mm-Halbleiterfertigung von Bedeutung?
GEM300 ist eine Reihe von SEMI-Standards, die festlegt, wie 300-mm-Halbleiteranlagen mit Fabrikautomationssystemen kommunizieren. Sie berücksichtigt die zusätzliche Komplexität automatisierter 300-mm-Fertigungsanlagen, in denen Träger, Substrate und Prozessaufträge über Anlagen, Hosts und Materialtransportsysteme hinweg präzise koordiniert werden müssen.
Hier erfahren Sie, was GEM300 umfasst und warum es für die moderne Halbleiterfertigung von Bedeutung ist.
Carrier-Management (SEMI E87)
Definiert, wie Geräte Carrier-Zustände, Ladeport-Zugangsmodi und Materialübergaben mit automatisierten Transportsystemen verwalten.
Substrat-Tracking (SEMI E90)
Ermöglicht Transparenz auf Wafer-Ebene auf dem Produktionsgelände, indem der Standort und der Status von Substraten während des gesamten Prozessflusses verfolgt werden.
Steuerung des Jobmanagements (SEMI E94)
Koordinates mehrstufige Verarbeitungsvorgänge über Anlagen hinweg und verknüpft die Lossteuerung mit der Ausführung von Prozessaufträgen.
Jobmanagement-Verarbeitung (SEMI E40)
Verwaltet die Erstellung, Ausführung und Fertigstellung einzelner Prozessjobs auf der Ausrüstungsebene.
Überwachung der Anlagenleistung (SEMI E116)
Standardisiert, wie Anlagen Betriebs-, Verfügbarkeits- und Leistungsmetriken an Fabrikleitsysteme melden.
Fab Interoperabilität
300-mm-Fertigungsanlagen erfordern die Einhaltung der GEM300-Vorgaben für die Werkzeugqualifizierung. Ohne diese Konformität können die Anlagen nicht in automatisierte Produktionsumgebungen integriert werden.
Industrie 4.0-Bereitschaft
Da die Halbleiterfabriken zunehmend auf Vollautomatisierung setzen, ist die Einhaltung des GEM300-Standards die Voraussetzung für die Anbindung von Anlagen an MES-, AMHS- und Smart-Factory-Plattformen.
Wichtige SEMI-Standards, die von NxSphere® und GEM300 unterstützt werden
NxSphere® GEM300 deckt alle SEMI-Standards ab, die für die Konformität von 300-mm-Anlagen erforderlich sind. Jeder Standard ist vollständig implementiert und integriert, wobei die Zustandsmodelle und die sie verbindenden Wechselbeziehungen automatisch verarbeitet werden.
SEMI E5 (SECS-II)
Definiert den Nachrichteninhalt und die Datenstruktur für SECS-Kommunikationen zwischen Geräten und Hosts.
SEMI E37 (HSMS)
High-Speed Message Services Protokoll für TCP/IP-basierte SECS-II-Kommunikation.
SEMI E39 (OSS)
Object Services Standard, der festlegt, wie Geräteobjekte von Hostsystemen identifiziert und referenziert werden.
SEMI E40 (PJM)
Job Management für die Verarbeitung, die die Ausführung und den Lebenszyklus einzelner Prozessjobs auf Geräteebene regelt.
SEMI E87 (CMS)
Carrier Management Standard, der Ladehafenstatus, Carrier-IDs und Materialübergaben mit automatisierten Transportsystemen definiert.
SEMI E90 (STS)
Standard für Substrat-Tracking, der die Rückverfolgbarkeit auf Wafer-Ebene über den gesamten Produktionsbereich vom Eingang bis zur Fertigstellung bietet.
SEMI E94 (CJM)
Steuern Sie die Auftragsverwaltung, koordinieren Sie die mehrstufige Losverarbeitung über Geräte und Prozessaufträge hinweg.
SEMI E116 (EPT)
Ausrüstungsleistungsverfolgung, Standardisierung der Berichterstattung von Ausrüstungsdaten zu Auslastung, Verfügbarkeit und Leistung.
Vorteile des Einsatzes von GEM300-konformer Software für OEM-Geräte
Die Entscheidung für eine speziell entwickelte GEM300-Software verändert die Entwicklungsstrategie für OEM-Entwicklungsteams. Anstatt die Konformität von Grund auf neu aufzubauen, nutzen die Teams eine validierte Grundlage und konzentrieren ihre Bemühungen auf die Tool-Funktionen, die ihre Produkte von der Konkurrenz abheben.
Als ein vertrauenswürdiger SECS/GEM Software Die Plattform NxSphere® GEM300 gibt OEMs die Gewissheit, dass ihre Werkzeuge die Qualifizierung in der Fertigung ohne wiederholte Überarbeitungszyklen bestehen werden.
Häufige Anwendungsfälle für GEM300-Software
NxSphere® GEM300 unterstützt eine breite Palette von 300-mm-Halbleiteranlagen und Integrationsszenarien. Zu den gängigen Anwendungsbereichen zählen:
Zusätzlich, für Einrichtungen die auch ältere Werkzeuge verwalten, unsere Automatisierung von Altanlagen Diese Lösungen ergänzen GEM300-Implementierungen, indem sie Nicht-SECS/GEM-Geräte in dieselbe Fabrikautomationsumgebung einbinden.
Unterstützung für Smart Factory und 300mm Fabrikautomatisierung
MES-Integration
AMHS-Koordination
SEMI E87 ermöglicht die direkte Kommunikation mit automatisierten Materialhandhabungssystemen und erlaubt es Anlagen, Trägerübergaben mit OHT- und AGV-Systemen ohne manuelle Eingriffe zu koordinieren.
Echtzeit-Sichtbarkeit
Geräteleistungsdaten, die über SEMI E116 gemeldet werden, unterstützen prädiktive Wartung, Nutzungsüberwachung und Betriebsanalysen im gesamten Fab.
Automatisierter Materialfluss
Die Zustandsverwaltung der Ladestation und die Abläufe der Trägerübergabe sind exakt auf die Anforderungen des Transportsystems abgestimmt und gewährleisten einen reibungslosen, unterbrechungsfreien Materialfluss.
Industrie 4.0-Bereitschaft
Die GEM300-Software bietet 300-mm-Werkzeugen die erforderliche Kommunikationsgrundlage, um in Smart-Factory-Plattformen, cloudbasierte Überwachungssysteme und datengesteuerte Fertigungsinitiativen eingebunden zu werden.
Häufig gestellte Fragen
Was ist GEM300 und welche SEMI-Normen umfasst es?
GEM300 ist ein Paket von SEMI Standards, die eine vollständige Fabrikautomatisierung im 300-mm-Bereich unterstützen sollen. Eine GEM300-Schnittstelle muss mindestens den Normen SEMI E5, E30, E37, E39, E40, E87, E90 und E94 entsprechen. NxSphere® GEM300 umfasst außerdem SEMI E116 (EPT), E148 und E157.
Was ist der Unterschied zwischen SECS/GEM und GEM300?
SECS/GEM (SEMI E30) definiert die Kommunikation der Basisausrüstung und umfasst Ereignisse, Alarme, Rezepturen und Fernbefehle. GEM300 ergänzt diese um 300-mm-spezifische Standards, wie beispielsweise SEMI E87 für das Trägermanagement, SEMI E90 für die Substratverfolgung, SEMI E94 für das Steuerungsauftragsmanagement und SEMI E116 für die Leistungsüberwachung der Anlagen.
Unterstützt NxSphere® GEM300 die SEMI E142?
Ja. SEMI E142 (Substrat-Mapping) wird auf der Basisebene NxSphere® GEM unterstützt, die von NxSphere® GEM300 übernommen wird.
Unterstützt NxSphere® GEM300 die Zustandsmaschinen nach SEMI E87 und E90 automatisch?
Ja. NxSphere® GEM300 bietet automatische Zustandsverwaltung für alle GEM300-Standards, einschließlich SEMI E87-Trägerzustände und SEMI E90-Substratzustände, mit Datenpersistenz nach einem Systemneustart.
Kann ich GEM300 Workflows ohne einen echten Host testen?
Ja. NxSphere® GEM300 umfasst einen GEM300-Simulator und vollständige Round-Trip-Beispielprogramme, die den betrieblichen Anforderungen von SEMATECH und SELETE entsprechen, so dass Sie GEM300-Flows offline validieren können.
Ist eine kostenlose Bewertung von NxSphere® GEM300 verfügbar?
Ja. NxSphere® GEM300 bietet eine kostenlose 30-tägige Software-Evaluierung mit vollem Funktionsumfang, einschließlich Unterstützung für SEMI E87, E90, E94 und E116.
Warum ist GEM300 für 300-mm-Halbleiteranlagen wichtig?
Die GEM300-Standards legen fest, wie 300-mm-Anlagen mit Fabrik-Hosts, automatisierten Materialtransportsystemen und MES-Plattformen kommunizieren. Ohne GEM300-Konformität können Werkzeuge nicht für moderne 300-mm-Fertigungsanlagen qualifiziert werden oder in vollautomatisierte Produktionsabläufe eingebunden werden.
Welche Vorteile bietet der Einsatz von GEM300-konformer Software?
Mit GEM300-konformer Software entfällt die Notwendigkeit, Zustandsmaschinen und Dokumentation von Grund auf neu zu erstellen, wodurch sich die Entwicklungszeit erheblich verkürzt. Zudem gewährleistet sie eine validierte Interoperabilität mit Fabrik-Hosts, was die Qualifizierung in der Fertigung vereinfacht und die Markteinführungszeit für OEM-Gerätehersteller verkürzt.
Lässt sich GEM300 in MES- und Werkshostsysteme integrieren?
Ja. GEM300-konforme Werkzeuge übermitteln Träger-, Substrat- und Auftragsdaten in Echtzeit direkt an MES- und Fabrik-Hostsysteme und ermöglichen so eine lückenlose Rückverfolgbarkeit der Produktion, eine automatisierte Planung sowie die Prozesssteuerung im gesamten Fertigungsbereich.
Inwiefern verbessert GEM300 die Automatisierung in Halbleiterfabriken?
GEM300 bietet Anlagen eine standardisierte Möglichkeit zur Abstimmung mit automatisierten Transportsystemen, Fabrik-Hosts und MES-Plattformen. Dies ermöglicht automatisierte Trägerübergaben, die Substratverfolgung in Echtzeit sowie die Leistungsüberwachung und reduziert so manuelle Eingriffe in 300-mm-Produktionsumgebungen.