Vor der Entwicklung von 300-mm-Wafern, SEMI SECS-II E5 und GEM E30 waren die ersten Standards, die es den IC-Herstellern ermöglichten, zu kommunizieren und die Wafer-Verarbeitungsanlagen zu steuern.
Mit der Einführung größerer und schwererer 300-mm-Wafer und kleinerer Chiptopologien wurde es für die Bediener unpraktisch, Materialien ein- oder auszuladen und sich dabei dem Risiko einer Verunreinigung auszusetzen. Aus diesem Grund mussten die Halbleiterfabriken die Materialzufuhr zu den einzelnen Anlagen mithilfe von OHT (Overhead Hoist Transport) oder AGV (Automated Guided Vehicle) automatisieren, um den Produktionsdurchsatz zu maximieren.
Implementierung von GEM300-konformen Standards
Die größte Herausforderung für die Ausrüstungshersteller besteht darin, die Funktionsweise dieser komplexen Normen zu verstehen und sie in die Software ihrer Ausrüstungssteuerung zu implementieren.
STHGEM300 ist ein Software-Entwicklungs-Toolkit zur Implementierung von GEM300 Standards für Gerätehersteller. Unsere Produktdokumentation, ein komplettes Arbeitsbeispiel (mit einer schrittweisen Schnellstartanleitung zur Durchführung eines vollständigen End-to-End-GEM300-Betriebsszenarios, das den SEMATECH- und SELETE-Anforderungen entspricht) und unser technisches Fachwissen werden die Entwicklungszeit drastisch verkürzen und die Markteinführungszeit verbessern.
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Was ist GEM300?
GEM300 ist eine “Gruppe von Standards” und wird oft als “SEMI 300mm Standards” bezeichnet (SEMI E39, SEMI E40, SEMI E87, SEMI E90 und SEMI E94). Sie bieten ein ausgefeilteres und standardisiertes Konzept, das der Fabrikbetreiber für die Kontrolle und die Materialhandhabung verwenden kann.
GEM300 baut auf den SECS/GEM-Standards auf, wie im folgenden Diagramm dargestellt:
GEM300 Normen
| SEMI-Norm | Beschreibung | Zweck |
| E87 | Spezifikation für Carrier Management (CMS) | Verwaltet die Lieferung, die Handhabung und die Validierung des Materials. Ziel ist es, zu validieren, dass das erwartete Material an die Ausrüstung geliefert wurde |
| E90 | Spezifikation für das Substrat-Tracking-Management | Definiert einen Standard für die Rückverfolgung von Substraten in der Fertigung in der gleichen Weise wie E87 für Carrier |
| E40 | Spezifikation für das Verarbeitungsmanagement (PJM) | Die Prozeßauftragsverwaltung befaßt sich mit der Verarbeitung von Material durch eine Verarbeitungsressource. Sie hat die Aufgabe, sicherzustellen, dass das an das Prozessmodul gelieferte Material mit dem richtigen Rezept verarbeitet wird |
| E94 | Spezifikation für Control Job Management (CJM) | Bietet eine übergeordnete Kontrollebene für Prozessaufträge auf Materialverarbeitungsanlagen und ermöglicht Hosts die Verwaltung komplexer Verarbeitungsszenarien. |
| E39 | Object Services Standard: Konzepte, Verhalten und Dienste | Legt fest, wie verschiedene Arten von Objekten während der Materialbearbeitung dynamisch erstellt und gelöscht werden. Legt die Interaktion von Objektattributen fest |