OEM機器ソリューション
より少ないコードで、より迅速な立ち上げ
ローコード開発により、市場投入までの時間を短縮します。
OEM機器ソリューション
現在の工場では、SECS/GEM または GEM300 に準拠していない装置は受け入れられなくなっています。 しかし、これらの装置通信ドライバーを自社開発することは、時間がかかるだけでなく、コストも非常に高くなります。
NxSphere® GEM そして GEM300 は、高速で信頼性が高く、完全に標準化されたツール間通信を可能にする強力なSECS/GEMホストインタフェースソフトウェアと準拠ドライバです。半導体ツールオートメーション用に設計され、OEMに既製のSECS/GEM SDKとファクトリーオートメーションソフトウェアを提供します。.
製品紹介
NxSphere® GEM
概要
NxSphere® GEMは、SEMI E30、SEMI E37、およびE5に完全に準拠した通信を必要とする装置メーカー向けの堅牢なSECS/GEMドライバおよびホスト統合ソフトウェアです。開発者に優しいSECS/GEM SDKとして構築され、統合時間を短縮し、半導体工場におけるツールとホスト間のシームレスな相互運用性を保証します。.
ハイライト
非同期SECS/GEM操作のためのインテリジェントAPI。.
GEMサービスのフルサポート：イベント、アラーム、レシピ、リモートコマンド、データ収集、スプーリング、ステートモデル、最新のラージレシピ（ストリーム21）。.
簡単な設定と自動生成されたドキュメントのためのビジュアル・モデル・ビルダー検証やデバッグのための内蔵シミュレータとSML LogViewer.
こんな人におすすめ
一般半導体装置（200mm以下）。.
ダイボンダ、ワイヤーボンダ、AOI、ビジョン、レーザーマーカー、テスターなどのバックエンドツール。.
シームレスでファブで実証済みのSECS/GEMホスト通信の基盤 - スマートで拡張性があり、すぐに導入できます。.
NxSphere® GEM300
完全な300mm装置の自動化をシンプルに
概要
で構築NxSphere® GEM、NxSphere® GEM300は、すべての主要なSEMI規格（E87、E90、E94、E40、E116など）に準拠した300mmツールの完全なコンプライアンスをサポートする包括的なGEM300準拠ドライバです。半導体ツール自動化のためのオブジェクトモデリング、プロセスジョブ管理、ホスト調整を簡素化し、高速な導入と高い保守性を提供します。.
ハイライト
NxSphere GEM のすべての機能。.
オブジェクトベースモデリングによるGEM300準拠の統合ドライバ。.
永続性と回復を備えた自動ステートマシン。.
視覚的な設定と即時の文書化のためのモデルビルダー。.
こんな人におすすめ
300mmウェーハプロセスツール（エッチング、メトロロジー、CMPなど）。.
自動ハンドリングシステム（OHT、AGV）を備えた工具。.
完全に統合されたGEM300準拠の自動化プラットフォームにより、ファブの認定を加速します。.
NxSphere® GEMBridge
SECS/GEMとPLC/OPC UA間の統合ゲートウェイ
概要
NxSphere® GEMBridgeは産業用プロトコルブリッジとして動作し、PLC、SCADA、ModbusシステムをSECS/GEMファクトリーホストに接続します。高速でコードフリーのPLCからSECS/GEMへの統合を実現し、制御ロジックを書き換えることなく、PLCベースの機械やハイブリッド機械をSECS/GEMに完全に準拠した機器に変えます。.
ハイライト
PLC-SECS/GEMおよびModbus-SECS/GEMゲートウェイ。.
タグからGEMへの視覚的なマッピング（ステータスバー、CEID、アラーム、ホストコマンド）。.
デプロイとモニタリングのための管理パネル。.
SEMI規格に準拠したドキュメントをワンクリックで作成。.
こんな人におすすめ
OPC UAマッピングによる迅速なSECS/GEMイネーブルメントを必要とするPLC駆動またはハイブリッドツール。.
OPC UAとSECS/GEMを簡単に接続する、ノーコード、コンフィグレーション主導の工場統合ゲートウェイです。.