GEM300規格の紹介

300mmウェハーの開発以前、, SEMI SECS-II E5およびGEM E30 は、ICメーカーがウェハー処理装置と通信し、制御できるようにするための初期規格であった。.

300mmウェーハの大型化、重量化、チップトポロジーの微細化に伴い、作業者が材料の積み下ろしを行うことは非現実的となり、コンタミネーションのリスクにさらされるようになりました。そのため、半導体工場では、生産スループットを最大化するために、OHT(オーバーヘッドホイスト搬送)やAGV(無人搬送車)を使用して、各装置への材料搬入を自動化する大きな変革が必要となりました。.

GEM300準拠規格の導入

機器サプライヤーにとっての主な課題は、まずこれらの複雑な規格がどのように機能するのかを理解し、それを機器コントローラーのソフトウェアにどのように実装するかである。.

STHGEM300は、以下を実装するためのソフトウェア開発ツールキットです。 GEM300 規格に準拠しています。SEMATECHおよびSELETEの要件に準拠したGEM300の運用シナリオをエンド・ツー・エンドで実行するための、ステップバイ・エンドのクイックスタートガイドを含む)当社の製品ドキュメント、完全な実例、および技術的専門知識は、開発時間を劇的に短縮し、市場投入までの時間を改善します。.

お問い合わせ sales@insphere.com.sg をご覧ください。.

GEM300とは?

GEM300は「規格群」であり、しばしば「SEMI 300mm規格」(SEMI E39、SEMI E40、SEMI E87、SEMI E90、SEMI E94)と呼ばれる。これは、工場ホストが制御と材料ハンドリングに使用できる、より洗練された標準化されたアプローチを提供します。.

GEM300は、下図に示すように、SECS/GEM規格の上に構築されている:

GEM300規格

SEMI規格説明目的
E87キャリアマネジメント(CMS)仕様材料の搬入、取り扱い、検証を管理する。その目的は、期待された材料が設備に搬入されたかどうかを検証することである。
E90基板トラッキング管理仕様E87がキャリアに適用しているのと同様に、製造中の基板を追跡するための標準的な手段を定義する。
E40処理管理仕様(PJM)プロセスジョブ管理は、加工リソースによる材料の加工に関係する。その機能は、プロセスモジュールに送られた材料が正しいレシピで処理されることを保証することです。
E94コントロール・ジョブ・マネジメント(CJM)の仕様ホストが複雑な処理シナリオを管理できるように、材料処理装置上のプロセスジョブに監督レベルのコントロールを提供します。.
E39オブジェクトサービス標準:概念、動作、サービスマテリアル処理中に様々なタイプのオブジェクトが動的に作成・削除される方法を定義します。オブジェクト属性の相互作用を指定します。
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