OEM 设备解决方案

如今的工厂已不再接受未符合 SECS/GEM 或 GEM300 标准的设备。然而,自行开发这些设备通信驱动程序不仅耗时,而且成本高昂。

NxSphere® GEMGEM300 是强大的 SECS/GEM 主机接口软件及合规驱动程序,可实现快速、稳定且完全标准化的设备与主机通信。该方案专为半导体设备自动化而设计,为 OEM 提供即用型 SECS/GEM SDK 及工厂自动化软件,帮助更快交付符合晶圆厂要求的设备,并让工程团队专注于创新。

我们的产品

NxSphere® GEM

快速、可靠、对开发人员友好的 SECS/GEM 驱动程序

概述:

NxSphere® GEM 是一款功能强大的 SECS/GEM 驱动程序和主机集成软件,适用于需要完全符合 SEMI E30、SEMI E37 和 E5 通信标准的设备制造商。GEM 是一款开发人员友好型 SECS/GEM SDK,可缩短集成时间,确保半导体工厂中工具和主机之间的无缝互操作性。.

亮点

用于异步 SECS/GEM 操作的智能 API。.

全面的 GEM 服务支持:事件、警报、配方、远程命令、数据收集、线轴、状态模型和最新的大型配方(Stream 21)。.

可视化模型生成器便于配置和自动生成文档。内置模拟器和 SML LogViewer,用于验证和调试。.

建议用于

普通半导体设备(200 毫米及以下)。.

后端工具,如焊模机、焊线机、AOI、视觉、激光打标机、测试仪等。.

经晶圆厂验证的 SECS/GEM 主机无缝通信的基础--智能、可扩展、随时部署。.

NxSphere® GEM300

300 毫米全套设备自动化变得简单

概述:

基于 NxSphere® GEM, NxSphere® GEM300 是一款全面的 GEM300 兼容驱动程序,支持完全符合所有主要 SEMI 标准(E87、E90、E94、E40、E116 等)的 300mm 工具。它简化了半导体工具自动化的对象建模、流程作业管理和主机协调,同时提供快速部署和高可维护性。.

亮点

NxSphere GEM 的所有功能。.

符合 GEM300 标准的集成驱动程序,具有基于对象的建模功能。.

具有持久性和恢复功能的自动状态机.

模型生成器可实现可视化配置和即时文档编制。.

建议用于

300 毫米晶圆加工工具(蚀刻、计量、CMP 等)。.

配备自动搬运系统(OHT、AGV)的工具。.

利用完全集成、符合 GEM300 标准的自动化平台,加快工厂认证速度。.

NxSphere GEMBridge

NxSphere® GEMBridge

SECS/GEM 与 PLC/OPC UA 之间的统一网关

概述:

NxSphere® GEMBridge 可作为工业协议桥,将 PLC、SCADA 或 Modbus 系统连接到 SECS/GEM 工厂主机。它提供快速、无代码的 PLC 到 SECS/GEM 集成,将基于 PLC 的机器或混合机器变成完全符合 SECS/GEM 的设备,而无需重写控制逻辑。.

亮点

PLC 至 SECS/GEM 和 Modbus 至 SECS/GEM 网关。.

可视化标签到 GEM 映射(状态变量、CEID、警报、主机命令)。.

用于部署和监控的管理面板。.

一键生成符合 SEMI 规范的文档。.

建议用于

需要通过 OPC UA 映射快速启用 SECS/GEM 的 PLC 驱动或混合工具。.

无需代码、配置驱动的工厂集成网关,可轻松连接 OPC UA 和 SECS/GEM。.