NxSphere® GEM300
面向 OEM 的 GEM300 驱动,用于构建符合 300 mm 设备规范的自动化模块。
产品概览
NxSphere® GEM300(原名 STHGEM300) 是 SECS/GEM300 SDK,可帮助原始设备制造商更快地使其 300 毫米工具完全符合 SEMI 标准。.
建立在 NxSphere® GEM, 完整支持 SEMI 300 mm 标准(E87、E90、E94、E116 及相关规范),并可自动处理其状态模型与通信握手流程。
借助内建的 300 mm 对象模型、示例流程及持久化支持,工程人员可专注于设备控制,由 GEM300 负责载具、作业与基板的协调管理,并确保主机端的稳定互通。
主要功能
1
完整核心功能 - 继承 NxSphere® GEM 产品套件的全部功能与能力。
2
直观的对象建模 - 借助可视化 Model Builder,构建并管理复杂的 GEM300 逻辑对象模型,包括 Load Port、基板位置、制程模块与作业执行流程。
3
简化标准集成 - 开箱即用地处理各项标准之间复杂的相互依赖关系。.
4
自动状态机 - 自动管理状态机,并在系统重启后保持数据与状态的一致性。
5
自动化文档 - 一键生成完整的 GEM300 使用与规范文档。
6
验证样本 - 提供符合 SEMATECH 与 SELETE 作业要求的完整 300 mm 往返流程示例。
7
无风险评估 - 提供 30 天免费软件评估。
客户利益
1
无缝升级路径 - 从 NxSphere® GEM SDK 以实现 300 毫米的完整功能。.
2
加速 300 毫米启用 - 利用预先建模的对象和全面的样品,加快 300 mm 整合速度。.
3
简化标准互动 - 智能 API 简化了各种 300 毫米标准之间复杂的交互和依赖关系。.
4
强大的数据持久性 - 确保系统重启后的无缝恢复和数据持久性。.
5
文件编制效率 - 一键生成 GEM300 手册可节省数周的文档编制工作。.
5
自动规格 - 自动提供清晰准确的主机集成规范。.
使用模型生成器建立对象模型
使用 NxSphere® GEM300、模型生成器可轻松定义复杂的 300 毫米设备对象,如负载端口、基板位置和工艺模块。在配置这些对象时,该工具会自动生成所有所需的 GEM 变量、事件和警报,从而消除了对先决条件进行手动编码的需要。此外,Model Builder 还能根据您的配置立即生成完整的 SEMI GEM300 主机通信规范手册。这可确保您的实施和文档保持完美一致,从而节省数周的工程和文档编制工作--所有这一切只需点击几下即可完成。.
往返示例程序和模拟器
NxSphere® GEM300 包括一个往返示例应用程序,演示了从载体装载到批量完成的完整 300 mm 工作流程。该示例背后的代码利用了智能应用程序接口(API),其中一行代码即可触发一系列操作--管理 GEM300 状态机、更新所需变量数据、发送事件,并在幕后保持完全符合 SEMI 标准。开发人员很快就能看到复杂的序列是如何简化为简洁、可读的代码的。.
作为补充,该软件包还提供了一个 GEM300 模拟器,配备了预制的消息模板,可复制主机端的通信。这样,您就可以测试载体到达、作业开始、基质跟踪和批次完成等场景,而无需从头开始构建主机应用程序。示例程序和模拟器共同提供了一个完整的学习和验证环境,帮助开发人员轻松执行和理解完整的 GEM300 往返工作流程。.
进一步了解 NxSphere® GEM300
文件和支持
SEMI GEM300 标准功能强大,但结构复杂,需要对载具(Carrier)、基板(Substrate)与制程作业(Process Job)进行精密协同管理。NxSphere® GEM300 旨在通过清晰、以工程师为核心的资源体系,大幅简化这一实施过程。快速入门指南将带领您掌握关键要点,而分步骤的流程指南则完整演示如何按照 SELETE 与 SEMATECH 的定义,执行完整的 GEM300 往返(Round-Trip)场景。完整的开发者指南涵盖从物料进机(Material Move-In)、作业控制(Job Control)到异常处理的所有细节,并配合可运行的示例应用,将抽象概念具体化、落地化。
编程界面
C#、VB.NET、Python、gRPC(即将推出)
多平台支持
微软视窗 32 位和 64 位
Linux 32 位和 64 位
系统要求
Windows Server 2019/2016/2012 R2;Windows 7/8/10/11;≥1.3 GHz CPU;1 GB 内存;200 MB 磁盘;以太网
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