加速您的 GEM300 标准合规性之路
NxSphere® GEM300 （前身为 STHGEM300) 是一个GEM300 SDK，可帮助 OEM 厂商更快地使 300mm 设备完全符合 SEMI 标准。它支持 SEMI E87（载具管理）、SEMI E90（基板跟踪）、SEMI E94（作业控制管理）、SEMI E116（设备性能跟踪）及相关标准。.
基于 NxSphere® GEM 构建，它增加了对 GEM300 标准的全面支持，并自动处理其状态模型、握手和相互依赖关系 — 包括 SEMI E39、E40、E37 和 E5 基础标准。.
凭借其内置的 300 毫米对象模型、样本工作流程和持久性支持，工程师可以将精力集中在工具控制上，而 GEM300 则负责晶圆盒、作业和衬底的协调，并确保干净的主机互操作性。.
为什么原始设备制造商选择NxSphere® GEM300
- ✓完整GEM300标准支持 — E87, E40, E90, E94, E116，带自动状态机、握手和数据持久化
- ✓SEMATECH 和 SELETE 合规 — 经过验证的往返样品符合 SEMATECH 和 SELETE 的 300 毫米晶圆厂运营要求
- ✓自动 GEM300 参考手册 — 一键生成完整的GEM300主机集成文档
- ✓久经考验，值得信赖 — built on the solid foundation of NxSphere® GEM, accepted across all 300mm fabs worldwide — 以 NxSphere ® GEM 的坚实基础为支撑，获得全球所有 300mm 工厂的认可
GEM300 连接标准所需的一切
一个完整的GEM300 SDK，具有用于SEMI E87、E90、E94和E116的自动状态机——可视化对象建模、经过验证的样本，以及一键式文档，用于300mm设备合规性。.
完整核心功能
继承了NxSphere GEM 的全部功能集——事件、报警、配方、远程命令、假脱机和状态模型。.
直观的对象建模
可视化模型生成器，用于编排复杂的 GEM300 逻辑对象——加载端口、基板位置、处理模块等。.
简化标准集成
开箱即用，管理 E87、E90、E94 和 E116 标准之间复杂的相互依赖关系。.
自动状态机
自动状态机管理和重启后的数据持久化——无需手动跟踪状态。.
自动化文档
一键GEM300手动生成完整的宿主机集成规范。.
无缝升级路径
只需 NxSphere GEM SDK 即可轻松升级，并能以最少的代码更改来启用全部 GEM300 功能。.
往返示例程序和模拟器
NxSphere® GEM300 包含一个往返示例应用程序和 GEM300 模拟器，它们共同演示了完整的 300 毫米工作流程 — 从晶圆盒加载到成品完成。 单个 API 调用会自动触发状态机、变量数据和事件的完整级联。 该模拟器提供预制的服务器消息模板，因此开发人员无需构建服务器应用程序即可测试晶圆盒到达、作业启动、基板跟踪和成品完成。.
进一步了解 NxSphere® GEM300
SEMI GEM300 标准功能强大，但结构复杂，需要对载具（Carrier）、基板（Substrate）与制程作业（Process Job）进行精密协同管理。NxSphere® GEM300 旨在通过清晰、以工程师为核心的资源体系，大幅简化这一实施过程。快速入门指南将带领您掌握关键要点，而分步骤的流程指南则完整演示如何按照 SELETE 与 SEMATECH 的定义，执行完整的 GEM300 往返（Round-Trip）场景。完整的开发者指南涵盖从物料进机（Material Move-In）、作业控制（Job Control）到异常处理的所有细节，并配合可运行的示例应用，将抽象概念具体化、落地化。
编程界面
C#、VB.NET、Python、gRPC（即将推出）
多平台支持
微软视窗 32 位和 64 位
Linux 32 位和 64 位
系统要求
Windows Server 2019/2016/2012 R2；Windows 7/8/10/11；≥1.3 GHz CPU；1 GB 内存；200 MB 磁盘；以太网
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常见问题解答
GEM300 是什么？它包含哪些 SEMI 标准？
GEM300 是一套 半导体 标准最初是为了支持完整的 300 毫米工厂自动化而定义的。至少，GEM300 接口必须符合 SEMI E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90 和 E94。NxSphere® GEM300 还包括 SEMI E116 (EPT)、E148 和 E157。.
SECS/GEM 和 GEM300 有什么区别？
SECS/GEM (SEMI E30) 定义了基础设备通信——事件、报警、配方、远程命令。GEM300 增加了 300mm 特定标准：SEMI E87 用于载具管理，SEMI E90 用于基板跟踪，SEMI E94 用于控制作业管理，以及 SEMI E116 用于设备性能跟踪。.
NxSphere® GEM300 支持 SEMI E142 吗？
是的. SEMI E142（基板映射）在基础NxSphere® GEM级别支持，该级别NxSphere® GEM300继承了该功能。.
NxSphere® GEM300 是否自动处理 SEMI E87 和 E90 状态机
是的. NxSphere® GEM300 为包括 SEMI E87 载具状态和 SEMI E90 基板状态在内的所有 GEM300 标准提供自动状态机管理，并在系统重启后保持数据持久性。.
我可以在没有真实主机的情况下测试GEM300工作流吗？
是的. NxSphere® GEM300 包含一个 GEM300 模拟器以及符合 SEMATECH 和 SELETE 操作要求的完整双向示例程序，使您能够离线验证 GEM300 流程。.
NxSphere® GEM300 是否提供免费评估？
是的. NxSphere® GEM300 提供免费的 30 天软件试用，功能齐全，包括对 SEMI E87、E90、E94 和 E116 的支持。.