加速您的 GEM300 标准合规性之路
NxSphere® GEM300 （前身为 STHGEM300) 是一个GEM300 SDK，可帮助 OEM 厂商更快地使 300mm 设备完全符合 SEMI 标准。它支持 SEMI E87（载具管理）、SEMI E90（基板跟踪）、SEMI E94（作业控制管理）、SEMI E116（设备性能跟踪）及相关标准。.
该方案基于 NxSphere® GEM 构建，全面支持 GEM300 标准，并能自动处理其状态模型、握手协议及相互依赖关系，涵盖 SEMI E39、E40、E37 和 E5 基础标准。.
凭借其内置的 300 毫米对象模型、样本工作流程和持久性支持，工程师可以将精力集中在工具控制上，而 GEM300 则负责晶圆盒、作业和衬底的协调，并确保干净的主机互操作性。.
为什么原始设备制造商选择NxSphere® GEM300
- ✓完整GEM300标准支持E87、E40、E90、E94 和 E116，拥有自动状态机、握手和数据持久化功能。.
- ✓SEMATECH 和 SELETE 合规经验证的往返样品符合 SEMATECH 和 SELETE 对 300 毫米晶圆厂的运行要求。.
- ✓自动 GEM300 参考手册: 一键生成完整的 GEM300 主机集成文档。.
- ✓久经考验，值得信赖: 基于NxSphere® GEM这一坚实基础构建，已获得全球所有300毫米晶圆厂的广泛采用。.
作为一家全面整合的 OEM SECS GEM 解决方案, NxSphere® GEM300 为设备制造商提供了所需的一切，帮助他们更快通过认证，并充满信心地发货。.
GEM300 连接标准所需的一切
一套完整的 GEM300 和 SDK 解决方案，配备适用于 SEMI E87、E90、E94 及 E116 标准的自动状态机。该方案包含可视化对象建模、经过验证的样例，以及一键生成文档功能，可满足 300mm 设备的合规要求。.
完整核心功能
继承了 NxSphere GEM 的全部功能集，包括事件、告警、工艺配方、远程命令、输出到文件以及状态模型。.
直观的对象建模
可视化模型构建器，用于协调复杂的 GEM300 逻辑对象，包括装载端口、基板位置、处理模块等。.
简化标准集成
开箱即用，管理 E87、E90、E94 和 E116 标准之间复杂的相互依赖关系。.
自动状态机
自动化的状态机管理，并在重启后进行数据持久化。无需手动跟踪状态。.
自动化文档
一键GEM300手动生成完整的宿主机集成规范。.
无缝升级路径
只需轻松将 NxSphere® GEM SDK 升级，即可在几乎无需修改代码的情况下实现完整的 GEM300 功能。.
往返样本程序和模拟器
NxSphere® GEM300 包含一个往返样本应用程序和 GEM300 模拟器，二者共同演示了从载片装载到批次完成的完整 300mm 工作流程。 只需一次API调用，即可自动触发状态机、可变数据和事件的完整级联流程。该模拟器提供了预构建的主机消息模板，因此开发人员无需构建主机应用程序，即可测试载片到达、任务启动、基板追踪和批次完成等环节。.
进一步了解 NxSphere® GEM300
SEMI GEM300 标准功能强大但极其复杂，需要对载板、基板和工艺任务进行精心协调。NxSphere® GEM300 旨在通过提供清晰且以开发人员为中心的资源，简化这一过程。.
我们的《快速入门指南》将带您了解基本要点，而分步工作流指南则演示了如何按照SELETE和SEMATECH的定义，完整执行GEM300往返流程。.
同时，一本全面的《开发人员指南》涵盖了从物料进场到作业和异常处理的各个细节，并附有生动的示例应用程序，让概念更加具象化。.
编程界面
C#、VB.NET、Python、gRPC（即将推出）
多平台支持
微软视窗 32 位和 64 位
Linux 32 位和 64 位
系统要求
Windows Server 2019/2016/2012 R2、Windows 7/8/10/11、≥1.3 GHz CPU、1 GB 内存、200 MB 硬盘空间、以太网
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什么是 GEM300？它为何对 300 毫米半导体制造至关重要？
GEM300 是一套 SEMI 标准，用于定义 300 毫米半导体设备与工厂自动化系统之间的通信方式。该标准针对自动化 300 毫米晶圆厂的额外复杂性，在这些工厂中，载板、基板和工艺任务必须在设备、主机和物料搬运系统之间进行精确协调。.
以下是GEM300涵盖的内容，以及它为何对现代半导体制造至关重要。.
载体管理（SEMI E87）
定义设备如何处理载波状态、装载口访问模式以及与自动化传输系统的物料交接。.
基板追踪 (SEMI E90)
提供跨越整个生产线的晶圆级可见性，在整个流程中跟踪基板的位置和状态。.
控制作业管理（SEMI E94）
协调跨设备的多个步骤处理作业，将批次控制与流程作业执行相关联。.
制程工序管理 (SEMI E40)
管理设备层面的单个工艺作业的创建、执行和完成。.
设备性能跟踪 (SEMI E116)
标准化设备如何向工厂主机系统报告利用率、可用性和性能指标。.
出色的互通性
300毫米晶圆厂要求设备认证必须符合GEM300标准。若不符合该标准，设备将无法被纳入自动化生产环境。.
工业4.0就绪度
随着晶圆厂向全自动化迈进，符合 GEM300 标准是将设备连接至 MES、AMHS 和智能工厂平台的先决条件。.
NxSphere® 和 GEM300 支持的主要 SEMI 标准
NxSphere® GEM300 全面涵盖了 300 毫米设备合规性所需的 SEMI 标准。每个标准均得到完全实现和集成，并能自动处理状态模型以及连接这些模型的相互依赖关系。.
SEMI E5 (SECS-II)
定义设备和主机之间 SECS 通信的消息内容和数据结构。.
SEMI E37 (HSMS)
基于TCP/IP的SECS-II通信的高速消息服务协议。.
SEMI E39 (OSS)
对象服务标准，定义了设备对象如何被主机系统识别和引用。.
SEMI E40 (PJM)
处理作业管理，负责设备层面的单个作业的执行和生命周期。.
SEMI E87 (CMS)
载体管理标准，定义了负载端口状态、载体 ID 以及自动化输送系统与物料交接。.
SEMI E90 (STS)
基板追踪标准，提供从进料到完工的整个生产区域的晶圆级追踪。.
SEMI E94 (CJM)
控制作业管理，协调跨设备和工艺作业的多步骤批次处理。.
SEMI E116 (EPT)
设备性能追踪，标准化设备报告利用率、可用性和性能数据的方式。.
在OEM设备中使用符合GEM300标准的软件的优势
选择专为GEM300设计的软件，将彻底改变OEM工程团队的开发策略。团队无需从头开始构建合规体系，而是直接部署经过验证的基础架构，并将精力集中在能够使产品脱颖而出的工具功能上。.
作为值得信赖的 SECS GEM 软件 平台 NxSphere® GEM300 让原始设备制造商（OEM）确信，其工具无需经过反复的修订周期即可通过晶圆厂认证。.
GEM300 软件的常见应用场景
NxSphere® GEM300 支持多种 300 毫米半导体设备类型及集成方案。常见应用包括：
此外，对于也管理旧设备的设施，我们的 老旧设备的自动化 这些解决方案通过将非SECS/GEM设备接入同一工厂自动化环境，从而对GEM300部署形成补充。.
支持智能工厂和 300mm 晶圆厂自动化
MES 集成
AMHS协调
SEMI E87 支持直接与自动化物料搬运系统通信，从而使设备能够协调与 OHT 和 AGV 系统的化物料盒交接，无需人工干预。.
实时可见性
通过 SEMI E116 报告的设备性能数据支持晶圆厂的预测性维护、利用率跟踪和运营分析。.
自动化物料流
装载口状态管理和载具交接流程与运输系统要求精确对齐，确保物料顺畅、不间断地移动。.
工业4.0就绪度
GEM300 软件为 300 毫米级设备提供了必要的通信基础，使其能够接入智能工厂平台、基于云的监控系统以及数据驱动型制造项目。.
常见问题解答
GEM300 是什么？它包含哪些 SEMI 标准？
GEM300 是一套 半导体 旨在支持完整的300毫米工厂自动化的标准。GEM300接口至少必须符合SEMI E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90和E94标准。 NxSphere® GEM300 还包括 SEMI E116（EPT）、E148 和 E157。.
SECS/GEM 和 GEM300 有什么区别？
SECS/GEM（SEMI E30）定义了基础设备通信规范，涵盖事件、告警、工艺配方和远程命令。 GEM300 增加了针对 300mm 的特定标准，例如用于载体管理的 SEMI E87、用于基板追踪的 SEMI E90、用于控制任务管理的 SEMI E94 以及用于设备性能追踪的 SEMI E116。.
NxSphere® GEM300 支持 SEMI E142 吗？
是的。. SEMI E142（基板映射）在基础 NxSphere® GEM 级别中得到支持，而 NxSphere® GEM300 继承了该级别。.
NxSphere® GEM300 是否能自动处理 SEMI E87 和 E90 状态机？
是的. NxSphere® GEM300 为包括 SEMI E87 载具状态和 SEMI E90 基板状态在内的所有 GEM300 标准提供自动状态机管理，并在系统重启后保持数据持久性。.
我可以在没有真实主机的情况下测试GEM300工作流吗？
是的. NxSphere® GEM300 包含一个 GEM300 模拟器以及符合 SEMATECH 和 SELETE 操作要求的完整双向示例程序，使您能够离线验证 GEM300 流程。.
NxSphere® GEM300 是否提供免费评估？
是的. NxSphere® GEM300 提供免费的 30 天软件试用，功能齐全，包括对 SEMI E87、E90、E94 和 E116 的支持。.
为什么GEM300对300毫米半导体设备如此重要？
GEM300 标准规定了 300 毫米设备与工厂主机、自动化物料搬运系统以及 MES 平台之间的通信方式。如果不符合 GEM300 标准，相关设备将无法通过先进 300 毫米晶圆厂的认证，也无法参与全自动化生产流程。.
使用符合 GEM300 标准的软件有哪些好处？
符合 GEM300 标准的软件免去了从头构建状态机和编写文档的麻烦，从而大幅缩短了开发时间。它还确保了与工厂主机的经过验证的互操作性，简化了晶圆厂认证流程，并加速了 OEM 设备制造商的产品上市时间。.
GEM300 能否与 MES 和工厂主机系统集成？
是的。符合 GEM300 标准的设备会将载体、基板和工单数据实时直接传输至 MES 和工厂主机系统，从而实现整个晶圆厂车间的端到端生产可追溯性、自动化排程和工艺控制。.
GEM300 如何提升半导体工厂的自动化水平？
GEM300 为设备提供了一种与自动化运输系统、工厂主机和MES平台进行协调的标准化方式。这使得自动托盘交接、基板实时追踪以及性能监控成为可能，从而减少了300毫米生产环境中的人工干预。.