在开发 300 毫米晶圆之前、, SEMI SECS-II E5 和 GEM E30 在 300mm 晶圆技术发展之前,SEMI SECS-II E5 与 GEM E30 是 IC 制造商用于设备通信与晶圆加工控制的基础标准。
随着 300mm 晶圆尺寸与重量增加,以及制程微缩,人工上下料已不切实际,并显著提高了污染风险。因此,半导体工厂必须通过 OHT(空中搬送系统)或 AGV(自动导引车)实现物料自动化输送,以提升整体产能与生产效率。
实施符合 GEM300 的标准
设备供应商面临的主要挑战,是理解这些复杂标准的运作方式,并将其正确实现于设备控制软件中。
STHGEM300 是一个软件开发工具包,用于实现 GEM300 设备制造商的标准。我们提供完整的产品文件、可运行的范例(包含逐步快速上手指南,涵盖符合 SEMATECH 与 SELETE 要求的完整 GEM300 作业情境),以及深厚的技术经验,可大幅缩短开发周期并加快产品上市时间。
联系我们 sales@insphere.com.sg 以进一步了解我们的产品。.
什么是 GEM300?
GEM300 是一组标准,通常被称为「SEMI 300mm 标准」,包含 SEMI E39、E40、E87、E90 与 E94。该标准为工厂主机系统提供更高阶且标准化的控制与物料搬运方式。
GEM300 建立于 SECS/GEM 标准之上,如下图所示:
GEM300 标准
| SEMI 标准 | 说明 | 目的 |
| E87 | 承运商管理规范(CMS) | 管理物料的输送、处理与验证,确保预期的物料已正确送达设备。 |
| E90 | 基底跟踪管理规范 | 定义制造过程中基板的标准化追踪方式,其概念与 E87 对载具的管理方式一致。 |
| E40 | 处理管理规范(PJM) | 流程作业管理涉及加工资源对物料的加工。其功能是确保交付给加工模块的材料是按照正确的配方加工的 |
| E94 | 控制作业管理(CJM)规范 | 提供对制程作业的监督层级控制,使主机系统能够管理复杂的加工情境。 |
| E39 | 物件服务标准:概念、行为与服务 | 定义在物料处理过程中,各类物件如何被动态建立与删除,并规范物件属性之间的交互方式。 |

